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商品簡介
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本書作為金屬有機物氣相外延（OMVPE或MOCVD）基礎理論和應用實踐方面的教學參考書，適用於材料物理，材料化學和電子專業的本科生和研究生。同時也適合作為OMVPE生產和研發人員的工具書。本書第一章首先總攬了OMVPE的生長過程，並和其他的外延工藝做細緻的比較。第二到第六章則分別論述了OMVPE生長的各個方面：熱力學（第二章），表面物理過程（第三章），反應源（第四章），動力學（第五章）以及流體力學和品質輸運（第六章）。這些論述不但包括基本的模型論述，還包括主要研究進展以及發展的趨勢，內容豐富。第七章討論了
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