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商品簡介
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本書重點介紹精密和超精密機床在位檢測與誤差分離技術，全書分為六章。主要介紹了電容傳感器、電感傳感器、基於同心圓光柵莫爾條紋圖像處理的二自由度誤差測量系統和大量程納米級光柵位移測量系統等四種測量儀器基本原理和改進措施。介紹了超精密加工中無誤差重構的直線度測量及運動誤差分離方法，圓度、圓柱度和平面度測量及運動誤差分離方法與實驗。最后還介紹了基於李群李代數的形位公差統一模型與評定方法。 本書可供從事精密和超精密機床設計、超精密加工工藝、精密儀器和測 量等精密工程領域研究的科技人員參考，也適合大專院校相關專業的師生閱讀。
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