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商品簡介
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本書第一部分第1-4章描述了用於測量角度和位移的光學傳感器，它們是精確納米測量的基本量。提出了用於改善傳感器靈敏度和帶寬，減小傳感器尺寸的技術以及開發了新的多軸感測方法。
第二部分第5-10章介紹了許多用於表面形狀和臺階運動的精確納米測量的掃描型測量系統。 在納米製造中，最基本的幾何形狀――直線度和圓度測量的誤差分離算法和系統，在第五章和第六章中進行了介紹。在第七章中，描述了微觀非球面的測量，這需要掃描機理和探測技術的發展。在第8章和第9章中，描述了基於掃描探針顯微鏡的新型系統，用於針對新的、重要的納米製造的微小挑戰和納米結構的精確納米測量。第10章介紹掃描式圖像傳感器系統，它可以對長結構的微小尺寸進行快速，準確的測量。
第二部分第5-10章介紹了許多用於表面形狀和臺階運動的精確納米測量的掃描型測量系統。 在納米製造中，最基本的幾何形狀――直線度和圓度測量的誤差分離算法和系統，在第五章和第六章中進行了介紹。在第七章中，描述了微觀非球面的測量，這需要掃描機理和探測技術的發展。在第8章和第9章中，描述了基於掃描探針顯微鏡的新型系統，用於針對新的、重要的納米製造的微小挑戰和納米結構的精確納米測量。第10章介紹掃描式圖像傳感器系統，它可以對長結構的微小尺寸進行快速，準確的測量。
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