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目次
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奈米科技使用更小型、省能、智慧、反應空間範圍更小，卻更有效率的生產工具，因此意味製程環境工業安全衛生將受到更多保障，受污染物理或化學反應危害將大為降低，但工作環境管理、廠務技術與知識的要求也將遠比以往更加嚴苛。
目次
楊序
自序
第一篇 緒論
1 奈米科技的發展與應用
1-1 奈米科技簡介
1-2 奈米科技應用
1-3 各國推動奈米科技及產業之研發現況
2 奈米製程概述
2-1 半導體製造廠前段製程
2-2 半導體製造廠後段製程
3 廠務系統與潔淨室
3-1 潔淨室簡介
3-2 潔淨室的定義與分類
4 超潔淨無塵室
4-1 超潔淨無塵室組成
4-2 潔淨室技術及其未來動向
第二篇 廠務技術與工程管理
5 潔淨室空調系統
5-1 潔淨室懸浮微粒的污染特性
5-2 冷凍空調原理
5-3 潔淨室空調之循環、進氣與排氣系統
5-4 冰水、熱水與二次冰水系統
5-5 潔淨室的溫、濕度控制
5-6 潔淨室空調系統技術與未來方向
6 氣體供應系統
6-1 大宗氣體供應設備
6-2 半導體廠大宗氣體純化器
6-3 各類毒性氣體特性
6-4 特殊氣體管路設計
6-5 特殊氣體的供應方式
6-6 氣體監測器介紹
6-7 空氣呼吸系統
7 特殊氣體及化學品供應系統
7-1 特殊氣體簡介
7-2 特殊氣體與監測系統
7-3 奈米級廠之化學品
8 純水及廢水系統
8-1 純水系統
8-2 有機廢水處理系統
8-3 無機廢水處理系統
9 半導體工業之靜電污染控制
9-1 靜電對人體可能產生的危害
9-2 晶片靜電污染及防制
9-3 迷你潔淨室靜電控制
10 潔淨室煙控原理
10-1 國內現有防排煙模式分析
10-2 有效之煙控模式
11 噪音與振動
11-1 噪音
11-2 振動
11-3 潔淨室之振動與噪音
12 火災與消防偵監
12-1 消防系統簡介
12-2 工業配電開關器材選用
12-3 監視系統
12-4 緊急廣播系統
第三篇 建造規劃與維護管理
13 奈米級廠建廠工程管理
13-1 合約與建廠
13-2 施工管理
14 潔淨室施工管理
14-1 潔淨室工程施工管理
14-2 潔淨室測試
14-3 無塵室潔淨度測試規範
14-4 潔淨室測試與驗收
15 監工人員教材
15-1 監工人員責任
15-2 監工人員注意事項
16 潔淨室規劃與運轉管理
16-1 潔淨室設計原則
16-2 潔淨室規劃
16-3 潔淨室的系統結構
16-4 潔淨室運轉與維護管理
第四篇 環境衛生與工安管理
17 污染源及污染特性
17-1 空氣污染源
17-2 廢水污染源
17-3 廢棄物污染源
17-4 污染物種類及特性
18 水污染防制技術
18-1 廠內管理及減廢
18-2 處理原理及流程
18-3 廢水分流蒐集及貯存系統
18-4 處理單元及設備操作維護
18-5 控制儀錶
19 空氣污染防制技術
19-1 空氣污染物蒐集系統
19-2 廢氣處理系統
19-3 空氣污染防制設備操作維護
20 廢棄物處理
20-1 廢棄物貯存
20-2 廢棄物清除
20-3 廢棄物減量
20-4 廢棄物處理
21 奈米級產業工業安全衛生環保
21-1 工業安全衛生環保概述
21-2 半導體工業之危害
21-3 半導體安全衛生管理
附錄
參考書目
自序
第一篇 緒論
1 奈米科技的發展與應用
1-1 奈米科技簡介
1-2 奈米科技應用
1-3 各國推動奈米科技及產業之研發現況
2 奈米製程概述
2-1 半導體製造廠前段製程
2-2 半導體製造廠後段製程
3 廠務系統與潔淨室
3-1 潔淨室簡介
3-2 潔淨室的定義與分類
4 超潔淨無塵室
4-1 超潔淨無塵室組成
4-2 潔淨室技術及其未來動向
第二篇 廠務技術與工程管理
5 潔淨室空調系統
5-1 潔淨室懸浮微粒的污染特性
5-2 冷凍空調原理
5-3 潔淨室空調之循環、進氣與排氣系統
5-4 冰水、熱水與二次冰水系統
5-5 潔淨室的溫、濕度控制
5-6 潔淨室空調系統技術與未來方向
6 氣體供應系統
6-1 大宗氣體供應設備
6-2 半導體廠大宗氣體純化器
6-3 各類毒性氣體特性
6-4 特殊氣體管路設計
6-5 特殊氣體的供應方式
6-6 氣體監測器介紹
6-7 空氣呼吸系統
7 特殊氣體及化學品供應系統
7-1 特殊氣體簡介
7-2 特殊氣體與監測系統
7-3 奈米級廠之化學品
8 純水及廢水系統
8-1 純水系統
8-2 有機廢水處理系統
8-3 無機廢水處理系統
9 半導體工業之靜電污染控制
9-1 靜電對人體可能產生的危害
9-2 晶片靜電污染及防制
9-3 迷你潔淨室靜電控制
10 潔淨室煙控原理
10-1 國內現有防排煙模式分析
10-2 有效之煙控模式
11 噪音與振動
11-1 噪音
11-2 振動
11-3 潔淨室之振動與噪音
12 火災與消防偵監
12-1 消防系統簡介
12-2 工業配電開關器材選用
12-3 監視系統
12-4 緊急廣播系統
第三篇 建造規劃與維護管理
13 奈米級廠建廠工程管理
13-1 合約與建廠
13-2 施工管理
14 潔淨室施工管理
14-1 潔淨室工程施工管理
14-2 潔淨室測試
14-3 無塵室潔淨度測試規範
14-4 潔淨室測試與驗收
15 監工人員教材
15-1 監工人員責任
15-2 監工人員注意事項
16 潔淨室規劃與運轉管理
16-1 潔淨室設計原則
16-2 潔淨室規劃
16-3 潔淨室的系統結構
16-4 潔淨室運轉與維護管理
第四篇 環境衛生與工安管理
17 污染源及污染特性
17-1 空氣污染源
17-2 廢水污染源
17-3 廢棄物污染源
17-4 污染物種類及特性
18 水污染防制技術
18-1 廠內管理及減廢
18-2 處理原理及流程
18-3 廢水分流蒐集及貯存系統
18-4 處理單元及設備操作維護
18-5 控制儀錶
19 空氣污染防制技術
19-1 空氣污染物蒐集系統
19-2 廢氣處理系統
19-3 空氣污染防制設備操作維護
20 廢棄物處理
20-1 廢棄物貯存
20-2 廢棄物清除
20-3 廢棄物減量
20-4 廢棄物處理
21 奈米級產業工業安全衛生環保
21-1 工業安全衛生環保概述
21-2 半導體工業之危害
21-3 半導體安全衛生管理
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參考書目
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