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商品簡介
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隨著半導體產業與資訊化光電的持續發展，高附加價值與高產值產品加工技術正迅速崛起，機械加工也走向超精密化、高密度化、智能化及微小化的微機械加工產品，作者為因應市場發展與時代的變遷，以微米及元件加工製程為主，用實例之加工技術介紹相關內容，著重實用科學技術，並結合微機電系統之需求技術，將其多年研究累積之知識與經驗，彙整出一本配合現代社會趨勢所向之書。適合大專院校機械科系微機電課程使用。
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