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作者簡介
目次
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傳動器件的發展及其在微定位中的應用是一個新的動態的跨學科領域，本書首先對一些固態傳動裝置進行了理論描述，對實際使用材料、器件的設計、驅動及其控制技術以及一些典型應用進行了介紹和分析，最后討論了微機械電子學系統在當前及未來的發展趨勢。
作者簡介
作者：（美國）內野研二（Kenji Uchino） （美國）簡尼茨（Jayne R.Giniewicz） 譯者：胡敏強 金龍 顧菊平 等
目次
譯者序
前言
符號表
教學進度安排
預備知識
第1章 致動器和微機械電子學的當前趨勢
1.1 對新型致動器的需求
1.2 微定位的傳統方法
1.3 固態致動器概述
1.4 重要設計概念和本書結構
第2章 場致張力的理論描述
2.1 鐵電性
2.2 電場感應應變的微觀描述
2.3 壓電性的張量／矩陣描述
2.4 鐵電和反鐵電現象的理論描述
2.5 磁致伸縮現象學
2.6 鐵電疇的再取向
2.7 鐵電體中的晶粒大小和電場感應應變
第3章 致動器材料
3.1 實用致動器材料
3.2 壓電換能器的品質因數
3.3 電致伸縮應變與溫度的關係
3.4 響應速度
3.5 致動器的機械特性
第4章 陶瓷致動器的結構及製造方法
4.1 陶瓷和單晶體的製造
4.2 裝置設計
4.3 電極材料
4.4 市場上現有的壓電致動器和電致伸縮致動器
第5章 壓電致動器的驅動／控制技術
5.1 壓電致動器的分類
5.2 反饋控制
5.3 脈沖驅動
5.4 諧振驅動
5.5 微機電系統的傳感器和特殊元器件
第6章 損耗機理與發熱
6.1 壓電體的遲滯和損耗
6.2 壓電體中的發熱
6.3 硬性和軟性壓電材料
第7章 壓電結構有限元法簡介
7.1 背景知識
7.2 定義問題的方程
7.3 有限元法的應用
第8章 伺服位移傳感器的應用
8.1 變形鏡
8.2 顯微鏡載物臺
8.3 高精度線性位移裝置
8.4 伺服系統
8.5 VCR（錄像機）磁頭跟蹤致動器
8.6 振動抑制和噪聲消除系統
第9章 脈沖驅動電機應用
9.1 成像系統的應用
9.2 尺蠖裝置
9.3 點陣打印機機頭
9.4 噴墨打印機
9.5 壓電繼電器
9.6 自適應懸掛系統
第10章 超聲波電機的應用
10.1 超聲波電機的概述及分類
10.2 駐波電機
10.3 混合模態電機
10.4 行波電機
10.5 模態旋轉電機
10.6 不同超聲波電機的性能比較
10.7 微型步行機械
10.8 超聲波電機速度和推力的計算
10.9 設計超聲波電機的要點
10.10 超聲波電機的其他應用
10.11 磁電機
10.12 超聲波電機的可靠性
第11章 微機械電子系統中陶瓷致動器的展望
11.1 從專利統計看發展趨勢
11.2 壓電致動器／超聲波電機市場
11.3 致動器設計的未來趨勢
索引
前言
符號表
教學進度安排
預備知識
第1章 致動器和微機械電子學的當前趨勢
1.1 對新型致動器的需求
1.2 微定位的傳統方法
1.3 固態致動器概述
1.4 重要設計概念和本書結構
第2章 場致張力的理論描述
2.1 鐵電性
2.2 電場感應應變的微觀描述
2.3 壓電性的張量／矩陣描述
2.4 鐵電和反鐵電現象的理論描述
2.5 磁致伸縮現象學
2.6 鐵電疇的再取向
2.7 鐵電體中的晶粒大小和電場感應應變
第3章 致動器材料
3.1 實用致動器材料
3.2 壓電換能器的品質因數
3.3 電致伸縮應變與溫度的關係
3.4 響應速度
3.5 致動器的機械特性
第4章 陶瓷致動器的結構及製造方法
4.1 陶瓷和單晶體的製造
4.2 裝置設計
4.3 電極材料
4.4 市場上現有的壓電致動器和電致伸縮致動器
第5章 壓電致動器的驅動／控制技術
5.1 壓電致動器的分類
5.2 反饋控制
5.3 脈沖驅動
5.4 諧振驅動
5.5 微機電系統的傳感器和特殊元器件
第6章 損耗機理與發熱
6.1 壓電體的遲滯和損耗
6.2 壓電體中的發熱
6.3 硬性和軟性壓電材料
第7章 壓電結構有限元法簡介
7.1 背景知識
7.2 定義問題的方程
7.3 有限元法的應用
第8章 伺服位移傳感器的應用
8.1 變形鏡
8.2 顯微鏡載物臺
8.3 高精度線性位移裝置
8.4 伺服系統
8.5 VCR（錄像機）磁頭跟蹤致動器
8.6 振動抑制和噪聲消除系統
第9章 脈沖驅動電機應用
9.1 成像系統的應用
9.2 尺蠖裝置
9.3 點陣打印機機頭
9.4 噴墨打印機
9.5 壓電繼電器
9.6 自適應懸掛系統
第10章 超聲波電機的應用
10.1 超聲波電機的概述及分類
10.2 駐波電機
10.3 混合模態電機
10.4 行波電機
10.5 模態旋轉電機
10.6 不同超聲波電機的性能比較
10.7 微型步行機械
10.8 超聲波電機速度和推力的計算
10.9 設計超聲波電機的要點
10.10 超聲波電機的其他應用
10.11 磁電機
10.12 超聲波電機的可靠性
第11章 微機械電子系統中陶瓷致動器的展望
11.1 從專利統計看發展趨勢
11.2 壓電致動器／超聲波電機市場
11.3 致動器設計的未來趨勢
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