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微光學和納米光學制造技術（簡體書）
- ISBN13：9787111394488
- 出版社：機械工業出版社
- 作者：Shanalyn Kemme
- 裝訂／頁數：平裝／196頁
- 規格：26cm*19cm (高/寬)
- 出版日：2012/09/01
人民幣定價：66 元
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商品簡介
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商品簡介
《微光學和納米光學製造技術》詳細介紹了微光學和納米光學元件成功的、最新的製造工藝，重點強調了關鍵性的專業技巧，提供了最新的技術信息，內容包括面浮雕衍射光學元件、微光學等離子體刻蝕加工技術、使用相位光柵掩模板的模擬光刻術、光學器件的電子束納米光刻製造技術、納米壓印光刻技術和器件應用、平面光子晶體的設計和製造、三維（3D）光子晶體的製造：鎢成型法。
本書參編作者都是微納米光學製造技術領域的專家，代表了當今微光學加工的領先水平。本書可供光電子領域從事光學儀器設計、光學設計和光機結構設計（尤其是從事光學成像理論、微納米光學研究）的工程師使用，也可以作為大專院校相關專業本科生、研究生和教師的參考書。．
本書參編作者都是微納米光學製造技術領域的專家，代表了當今微光學加工的領先水平。本書可供光電子領域從事光學儀器設計、光學設計和光機結構設計（尤其是從事光學成像理論、微納米光學研究）的工程師使用，也可以作為大專院校相關專業本科生、研究生和教師的參考書。．
名人/編輯推薦
《微光學和納米光學制造技術》(作者凱米)詳細介紹了微光學和納米光學元件成功的、最新的制造工藝，重點強調了關鍵性的專業技巧，提供了最新的技術信息，全書分為面浮雕衍射光學元件；微光學等離子體刻蝕加工技術；使用相位光柵掩模板的模擬光刻術；光學器件的電子束納米光刻制造技術等
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