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Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices IV：VOLUME687
- 系列名：MRS Proceedings
- ISBN13：9781558996236
- 出版社：CAMBRIDGE UNIVERSITY PRESS
- 作者：Edited by Arturo A. Ayón ; Thomas E. Buchheit ; Harold Kahn ; S. Mark Spearing
- 裝訂／頁數：平裝／318頁
- 版次：1
- 出版日：2002/05/23
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商品簡介
商品簡介
Forty-three contributions from the 2001 conference focus on the materials science of MEMS structures and the films to create those structures. MEMS has application to markets in pressure sensors, gyroscopes, accelerometers, fluidics and data storage, and has future applications to power generation, propulsion, biomedical applications, optical switching, infrared sensing, microphones and displays. Papers are written by teams of researchers primarily working in the US, and each article is preceded by an abstract , punctuated by graphs and photos, and followed by a list of references. Annotation c. Book News, Inc., Portland, OR (booknews.com)
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