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商品簡介
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本書以實例的形式，介紹了用磁控濺射法製備氧化鋅（ZnO）薄膜、氮化鋁（AlN）薄膜和ZnO/AlN複合膜的詳細工藝和性能表徵。全書共分8章，第1章主要介紹ZnO的晶體結構、能帶結構、性能與應用；第2章主要介紹AlN的晶體結構、能帶結構、性能與應用；第3章主要介紹ZnO和AlN薄膜的常用製備方法及性能表徵手段；第4~6章分別介紹了AlN薄膜、ZnO薄膜、ZnO/AlN複合膜的製備方法與性能表徵；第7章主要介紹不同濺射時間下AlN緩衝層對ZnO薄膜的影響；第8章主要介紹退火溫度對N摻雜ZnO薄膜的影響。
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