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微系統設計與製造(第2版)（簡體書）
- 系列名：資訊、控制與系統技術叢書
- ISBN13：9787302391678
- 出版社：清華大學出版社(大陸)
- 作者：王喆垚
- 裝訂／頁數：平裝／742頁
- 規格：23.5cm*16.8cm (高/寬)
- 版次：2
- 出版日：2015/10/01
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商品簡介
商品簡介
本書結合微系統(MEMS)技術的基礎理論、典型器件和發展趨勢，介紹微系統的力學、電學和物理學基本理論，針對典型器件的分析設計方法和製造技術，以及多個前沿應用領域，力爭成為具有一定深度和廣度的MEMS領域的教材和實用參考書。主要內容包括： 微系統基本理論、製造技術、微型感測器、微型執行器、RF MEMS、光學MEMS、BioMEMS，以及微流體和晶片實驗室。本書強調設計與製造相結合、基礎與前沿相結合，在基礎理論和製造技術的基礎上，深入介紹多種典型和量產MEMS器件的設計和製造方法，以及重點和前沿應用研究領域的發展。本書可供高等院校電子、微電子、微機電系統、測控技術與儀器、精密儀器、機械工程、控制工程等專業的高年級本科生、研究生和教師使用，也可供相關領域的工程技術人員參考。
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