微納機電系統與微納傳感器技術（簡體書）

《微納機電系統與微納傳感器技術》對微納機電系統與微納傳感器領域的主要技術進行了分類闡述，全面總結了技術的發展現狀，客觀分析了技術的發展態勢，從學科的發展規律和研究特點出發，前瞻性地思考了技術的發展思路與發展方向，提出了我國發展該學科的資助機制與政策建議。

目錄 總序 i 前言 v 摘要 vii Abstract xix 第一章 微納機電系統與微納傳感器的戰略地位 1 第二章 基於微納機電系統的光學傳感器及光電子芯片技術 5 第一節 光學MEMS技術 5 一、概述 5 二、發展現狀與發展態勢 11 三、發展思路與發展方向 19 四、資助機制與政策建議 21 第二節 集成生物光電子芯片技術 22 一、概述 22 二、發展現狀與發展態勢 24 三、發展思路與發展方向 27 四、資助機制與政策建議 52 參考文獻 55 第三章 基於微納機電系統的譜學分析傳感器技術 62 第一節 概述 62 一、譜學分析傳感器的定義與內涵 62 二、譜學分析傳感器的發展動力 63 第二節 發展現狀與發展態勢 64 一、譜學分析傳感器的發展現狀 64 二、譜學分析傳感器的發展態勢 86 第三節 發展思路與發展方向 88 一、譜學分析傳感器的關鍵科學問題 88 二、譜學分析傳感器的發展總體思路和發展目標 88 第四節 資助機制與政策建議 89 參考文獻 90 第四章 基於微納機電系統的生化傳感器與微流控芯片技術 95 第一節 微納生化傳感器技術 95 一、概述 95 二、發展現狀與發展態勢 97 三、發展思路與發展方向 108 四、資助機制與政策建議 110 第二節 微流控芯片技術 111 一、概述 111 二、發展現狀與發展態勢 114 三、發展思路與發展方向 127 四、資助機制與政策建議 131 參考文獻 133 第五章 基於微納機電系統的醫療傳感器技術 140 第一節 植入式神經電極傳感技術 140 一、概述 140 二、發展現狀與發展態勢 141 三、發展思路與發展方向 148 四、資助機制與政策建議 148 第二節 中醫脈診與針灸針傳感微系統 149 一、概述 149 二、發展現狀與發展態勢 150 三、發展思路與發展方向 161 四、資助機制與政策建議 163 參考文獻 164 第六章 前沿微納機電系統技術 167 第一節 基於單芯片單面的微納加工技術 167 一、概述 167 二、發展現狀與發展態勢 169 三、發展思路與發展方向 175 四、資助機制與政策建議 176 第二節 應用於汽車自動駕駛技術的微納傳感器 177 一、概述 177 二、發展現狀與發展態勢 178 三、發展思路與發展方向 186 四、資助機制與政策建議187 第三節 熒光傳感材料及器件 187 一、概述 187 二、發展現狀與發展態勢 188 三、發展思路與發展方向 201 四、資助機制與政策建議 204 第四節 基於金剛石材料的傳感器 205 一、概述 205 二、發展現狀與發展態勢 206 三、發展思路與發展方向 209 四、資助機制與政策建議 210 第五節 基於氮化鋁壓電薄膜的射頻FBAR211 一、概述 211 二、發展現狀與發展態勢 213 三、發展思路與發展方向 218 四、資助機制與政策建議 218 第六節 熔融石英的微球形陀螺 219 一、概述 219 二、發展現狀與發展態勢 222 三、發展思路與發展方向 227 四、資助機制與政策建議 227 參考文獻 228 關鍵詞索引 235 彩圖