微機電系統動力學（簡體書）

本書著重介紹微機電系統動力學的相關理論基礎與應用。全書共分為7章，主要內容包括：微機電系統及微機電系統動力學科學問題的發展背景、現狀和未來的介紹；微驅動原理及尺度效應、微機電系統動力學相關理論基礎的概述；微機電系統宏建模與分析方法、多能量場耦合降階建模與模擬仿真技術的介紹；微機電系統中涉及的多種氣體阻尼和熱彈性阻尼特性的分析與探討；靜電驅動微機電系統非線性動力學特性和微轉子系統中的摩擦磨損行為、氣體軸承動力潤滑特性和非線性振動特性等方面的論述；微機電系統動態特性測試技術的介紹。 本書可供高等院校微電子、機電一體化等專業的師生閱讀，也可供從事微機電系統和微系統設計、加工制造及應用技術的科技人員參考。

前言
第1章 緒論
1.1 MEMS技術革命歷程
1.2 MEMS的基本概念與特征
1.3 MEMS動力學及其非線性特征
1.4 MEMS動力學研究概況
1.5 MEMS的市場和應用前景
1.6 MEMS的相關資訊
參考文獻
第2章 MEMS動力學理論基礎
2.1 尺度效應
2.2 微驅動原理及尺度效應
2.3 MEMS力學特性
2.4 MEMS振動特性
2.5 MEMS摩擦學
2.6 微尺度理論研究方法
參考文獻
第3章 MEMS動力學建模與仿真
3.1 MEMS建模與仿真概論
3.2 MEMS宏建模與分析方法
3.3 MEMS多能量場耦合降階建模
3.4 MEMS多能量場耦合模擬仿真
參考文獻
第4章 MEMS阻尼特性
4.1 氣體阻尼
4.2 熱彈性阻尼
參考文獻
第5章 靜電驅動MEMS動力學
5.1 靜電場基本理論
5.2 靜電驅動基本方式
5.3 微結構靜電力分析
5.4 靜電驅動MEMS的基本特性
5.5 靜電驅動MEMS的動力學特性
5.6 靜電驅動MEMS的組合共振
參考文獻
第6章 微轉子系統動力學
6.1 微旋轉機械發展概論
6.2 微轉子系統摩擦磨損特性分析
6.3 微轉子-固定軸承接觸問題分析
6.4 碰摩微轉子系統非線性動力特性分析
6.5 微氣體軸承動力潤滑特性分析
參考文獻
第7章 MEMS動態測試技術
7.1 基本激勵方法與技術
7.2 MEMS動態參數測量方法
7.3 計算機微視覺測試技術
7.4 頻閃顯微干涉視覺測試技術
7.5 激光多普勒測試技術
7.6 光纖邁克爾遜干涉測試技術
參考文獻