三民網路書店 中國圖書館分類法 / 工業技術 / 一般工業技術 / 工業通用技術與設備 / 薄膜技術

本書是作者根據多年從事材料表面薄膜製備技術的科研和教學經驗編寫而成，全書共分4章，分別闡述了材料表面防護裝飾膜層的物理氣相沉積技術（包括真空蒸發鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍鍍膜），化學氣相沉積技術（包括簡單的CVD相關理論、設備裝置、CVD種類等），硬膜及超硬膜的製備技術（金剛石膜、類金剛石膜、立方氮化硼膜、CNx膜及氮化物、碳化物、氧化物薄膜及複合薄膜等），以及利用化學、電化學反應在材料表面製備膜層的

金剛石作為第四代半導體材料，具有極其優越的物理化學特性，在諸多高科技領域具有很好的應用前景。金剛石拋光技術的研究不但突破了金剛石在高科技領域的應用瓶頸，還帶動了一些新工藝、新方法和新技術的發展。《金剛石膜的應用與拋光技術》以作者多年的科研成果為基礎，彙集國內外金剛石領域的最新進展，全面系統地對金剛石應用和拋光技術的重要成果進行了歸納和總結，內容主要包括：金剛石的結構及性能，金剛石膜的應用，金剛石膜的製備技術，金剛石膜的去除機理與拋光理論，金剛石膜的機械拋光技術、摩擦化學拋光技術、化學機械拋光技術、光催化輔助拋光技術及特種拋光技術，金剛石相關材料應用及加工技術。

膜技術是材料科學和過程工程科學等諸多學科交叉的新型分離技術，以其低能耗、高效率的特點，成為解決我國當前水資源、能源、環境、傳統產業改造等國家重大戰略需求問題的共性關鍵技術。 《膜技術手冊》是我國膜領域眾多專家共同編寫的經典工具書，第二版在第一版基礎上，著重針對膜技術在化工、石油化工、海水淡化、工業污水“零排放”、製藥工業、食品工業等重要經濟領域的關鍵應用，突出近年來膜技術領域在基礎理論、研發創新、產業推廣等方面所取得的成果，圍繞膜與膜過程兩個核心知識體系予以系統介紹。具體內容包括：導言，有機高分子膜，無機膜，有機-無機復合膜，膜分離中的傳遞過程，膜過程的極化現象和膜污染，膜器件，反滲透、正滲透和納濾，超濾和微濾，滲析，離子交換膜過程，氣體膜分離過程，氣固分離膜，滲透汽化，液膜，膜反應器，膜接觸器，控制釋放微膠囊膜和智能膜，典型集成膜過程等。手冊詳細闡述了各種膜的定義、分類、制備、表征和應用；全面總結了各種膜過程的基礎理論、工程設計計算方法、經驗數據及其適用條件、典型的應用案例等。 本版與第一版相比在內容結構上做了較大的優化與調整，刪去了親和膜章，增加了有機-無機復合膜、氣固分離膜和典型集成膜過程三章；在有關章節增加了正滲透、膜脫氣、膜乳化、膜結晶、智能膜等內容；同時對其他各章在理論、過程和應用方面做了大量更新。下冊書末附有縮略語表和索引，方便讀者理解和查閱。 本手冊既重視基礎，又兼顧前沿，內容系統豐富，可供化學工程、材料科學與工程、資源與環境工程等學科以及化工、石化、水處理、製藥、食品等行業的技術人員參考閱讀，同時也可作為高等院校相關專業的教學參考書。

本書結合各種文獻及參編人員的工作經驗，書中著重從塗布液與塗布基材、塗布方式、乾燥工藝、塗布輔助裝置、塗布液輸送、塗布模頭設計及潔淨環境建設等方面，描述了塗布複合質量問題及其控制手段，介紹了部分弊病分析方法及在線監控措施。

本書涉及螢光材料的概念、分類，螢光薄膜的製備方法、表徵手段以及在傳感領域的應用等諸多方面的內容，論述了電化學聚合螢光薄膜的前體分子設計、合成及其檢測危險氣體的機理。

本書共分三篇。第一篇破壞理論，包括：熱障塗層熱力化耦合的基本理論框架、渦輪葉片熱障塗層非線性有限元、熱障塗層界面氧化的熱力化耦合生長與破壞、熱障塗層CMAS腐蝕的熱力化耦合、熱障塗層沖蝕破壞機制的理論與實驗研究。第二篇性能表徵，包括熱障塗層基本力學性能及其表徵、熱障塗層斷裂韌性的表徵、熱障塗層的殘餘應力、熱障塗層裂紋的聲發射實時表徵、熱障塗層微結構演變的複阻抗譜表征、熱障塗層應力應變場的數字散斑表徵、其他無損檢測方法。第三篇評價技術，包括熱障塗層隔熱效果、熱障塗層可靠性評價、熱障塗層破壞機制與可靠性評價試驗平臺

本教材以膜分離技術為核心，共分十章。第一章：膜分離概述；第二章：反滲透膜分離技術；第三章：納濾膜分離技術；第四章：超濾膜分離技術；第五章：微濾膜分離技術；第六章：電滲析；第七章：氣體分離膜技術；第八章：滲透汽化膜分離技術；第九章：液膜分離技術；第十章：新型膜分離技術。前面九章主要講述目前應用較為廣泛的反滲透、納濾、超濾、微濾、電滲析、氣體分離膜、滲透汽化膜和液膜分離技術，每一章的內容都涵蓋了該種膜

本專著將詳細介紹和深入探討納米結構自清潔減反射塗層的設計原理、製備方法和技術、表徵和測試方法及其相關應用領域，對納米材料的設計和製備、納米結構塗層的設計和製備、自清潔減反射塗層的應用具有重要的意義，將成為本領域科研人員，尤其是高校師生、研究機構研究人員、企業研發和生產工程師的必備書籍，對他們的科研工作、產品開發和工程應用起到良好的推動作用。

本書內容包括各向同性均勻和非均勻、各向異性均勻和非均勻、吸收和導電層狀介質薄膜反射和透射特性計算；增透膜、高反射膜、帶通濾光片、截止濾光片、帶阻濾光片和分光鏡的膜系構成、特性描述及其應用；物理氣相沉積、化學氣相沉積和液相沉積薄膜製備方法原理，以及光學薄膜檢測技術。最後在光學薄膜材料一章給出了一些金屬薄膜、半導體薄膜和介質薄膜製備實例。

第二代YBCO高溫超導塗層導體具有獨特的物理性能，在電力系統及電子器件領域具有重要的應用價值，而低氟化學溶液沉積技術(CSD)具有成本優勢及特有的技術優勢，是製備YBCO塗層導體的主要技術之一。然而，低氟化學溶液沉積製備YBCO超導膜還存在一些問題，如低氟溶液中氟含量的影響、厚膜製備中的“厚度效應”、高場下臨界電流急劇下降、熱解過程薄膜中元素偏析聚集及薄膜疏鬆等。本書針對上述問題，從“厚膜的製備方

《真空科學技術叢書：真空鍍膜》是本著突出近代真空鍍膜技術進步，注重系統性、強調實用性而編著的。全書共11章，內容包涵了真空鍍膜中物理基礎，各種蒸發源與濺射靶的設計、特點、使用要求，各種真空鍍膜方法以及薄膜的測量與監控，真空鍍膜工藝對環境的要求等。本書具有權威性、實用性和通用性。《真空科學技術叢書：真空鍍膜》可作為從事真空鍍膜技術的技術人員、真空專業的本科生、研究生教材使用，亦可供鍍膜、表面改型等專

本書系統地介紹薄膜光學的基本理論和器件設計的基本方法，適當地介紹一些新設計方法、新器件設計、新工藝技術。 全書共7章，主要內容包括：薄膜光學基礎，器件設計方法，薄膜製造基本方法，高質量光學薄膜器件的工藝方法，光學薄膜材料，光學薄膜特性測試，功能薄膜及其應用。

本書介紹了光學薄膜的基本理論、各種光學薄膜器件的設計和應用以及光學薄膜器件的技術。全書共分7章，內容包括：薄膜光學特性的理論計算、常見介質膜系及其設計、真空鍍膜技術、常見光學薄膜材料、光學薄膜的結構與特性、光學薄膜特性檢測技術、光學功能薄膜的應用研究。

全書共七章內容。從介紹類金剛石膜性質、組成、製備及應用入手，闡述了脈衝鐳射沉積技術及其在製備類金剛石膜方面的機理和優、缺點，以及類金剛石膜的測試與表徵；詳細討論了鐳射參數、基底狀態、靶材種類以及環境氣氛等因素對類金剛石膜性能的影響，偏重於闡述摻雜、退火、膜層結構及雙雷射技術等類金剛石膜降低內應力、提高膜層性能的改性技術；針對類金剛石膜的工程應用中存在的大面積不均勻、製備效率低的現實問題，展現了多功

本書共9章，介紹高溫防護塗層的種類、製備及性能表徵方法；接著分別講述β-NiAl、Ni3A1、AlN及CrN塗層的製備方法、微觀結構、抗高溫氧化和抗腐蝕性能及退化機理，CrAlN、TiAlN及Cr2AlC類三元複合塗層的製備、元素成分的影響及抗高溫腐蝕性能等；最後通過對合金表面氧化膜開裂和剝落行為的分析，闡述了氧化膜的破裂機理、力學載荷作用下高溫合金氧化行為、活性元素對合金高溫氧化的作用機制。

《塗層技術與硬質塗層研究》內容主要包括塗層制備、表征技術和硬質塗層性能三部分，比較全面系統地介紹了塗層制備技術及原理、塗層微結構和性能表征設備及原理、常見硬質塗層的基本制備工藝及應用領域等。對於硬質塗層裝備結構和適用領域的問題也進行了闡述。此外，《塗層技術與硬質塗層研究》還揭示了部分硬質塗層微結構、合金成分及界面特性等與力學和摩擦學性能之間的聯系。 《塗層技術與硬質塗層研究》的價值在於為從事