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金剛石膜的應用與拋光技術(簡體書)
作者:
苑澤偉
出版社:
科學出版社
出版日:
2023/05/01
裝訂:
平裝
金剛石作為第四代半導體材料,具有極其優越的物理化學特性,在諸多高科技領域具有很好的應用前景。金剛石拋光技術的研究不但突破了金剛石在高科技領域的應用瓶頸,還帶動了一些新工藝、新方法和新技術的發展。《金剛石膜的應用與拋光技術》以作者多年的科研成果為基礎,彙集國內外金剛石領域的最新進展,全面系統地對金剛石應用和拋光技術的重要成果進行了歸納和總結,內容主要包括:金剛石的結構及性能,金剛石膜的應用,金剛石膜的製備技術,金剛石膜的去除機理與拋光理論,金剛石膜的機械拋光技術、摩擦化學拋光技術、化學機械拋光技術、光催化輔助拋光技術及特種拋光技術,金剛石相關材料應用及加工技術。
定價:1128 元,
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