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薄膜體聲波諧振器結構分析的二維振動理論(簡體書)
作者:
錢征華
;
李念
;
黃浩宇
;
李鵬
出版社:
科學出版社
出版日:
2021/12/02
裝訂:
平裝
本著作主要介紹能夠快速求解薄膜體聲波諧振器振動特性的二維近似理論,為器件的研發與優化提供高效可靠的理論分析工具。全書分為8章:第1章為緒論,主要介紹聲波器件的基本背景、分類及研究現狀等;第2章為薄膜體聲波諧振器的頻散關係研究,主要內容為基於直峰波理論構造薄膜體聲波諧振器模型的頻散方程,應用模值收斂判別法對頻散曲線進行求解,對理想結構的模態頻率及固有振型等結果進行討論;第3章內容為TE-FBAR二維高階板理論建立,主要針對以厚度拉伸為工作模態的薄膜體聲波器件,基於對位移場的冪級數展開法,推導二維板理論;第4章內容為TE-FBAR二維板理論的應用,將二維板理論應用於實際的結構分析問題當中,探討薄膜體聲波諧振器的結構振動基本規律;第5章針對TS-FBAR模型,推導合適的二維板理論,並給出頻散關係、二維截面模型等一系列分析結果;第6章應用TS-FBAR高階板理論,與有限元軟件的偏微分方程工具相結合,實現對三維有限大模型的耦合振動分析;第7章基於前文結果,以厚度拉伸模態的位移場為主導,通過高階小量評估的方法,建立TE-FBAR的二維標量微分方程;第8章為FBAR二維標量微分方程的應用,將第7章所推導的二維標量微分方程與偏微分方程工具包相結合,實現對FBAR三維有限大模型的快速分析,探討了不同電極形狀對FBAR工作性能的具體影響
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