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目次
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本書特色
1.本書訂正「掌握微機電」初版前十三章內容之錯誤，更新2007-2022年間之微機電新知於第十四章，並特別強調CMOS MEMS代工，與現地多重感測器監控之微機電特色。
2.基於科普推廣之緣由，各章安排之範例，重在介紹國內外微機電學者之研究貢獻，並陳明微小科技背後之物理觀念。內容中偶然出現之數學處理手法，係提供大四生與研究生進階學習之用。
3.本書另備各章投影片、教學影片與教師手冊，作為教學與自修之參考。
1.本書訂正「掌握微機電」初版前十三章內容之錯誤，更新2007-2022年間之微機電新知於第十四章，並特別強調CMOS MEMS代工，與現地多重感測器監控之微機電特色。
2.基於科普推廣之緣由，各章安排之範例，重在介紹國內外微機電學者之研究貢獻，並陳明微小科技背後之物理觀念。內容中偶然出現之數學處理手法，係提供大四生與研究生進階學習之用。
3.本書另備各章投影片、教學影片與教師手冊，作為教學與自修之參考。
作者簡介
楊龍杰
學歷：國立台灣大學應用力學研究所工學博士(1997年)
經歷：淡江大學機械工程學系專任助理教授(1997-2002年)；美國加州理工學院電機系訪問學者(2000-2001年)；淡江大學機械與機電工程學系專任副教授(2002-2006年)；淡江大學全校儀器實驗中心主任(2003-2008年)；淡江大學機械與機電工程學系專任教授(2006年起，現職)；淡江理工學刊(Journal of Applied Science and Engineering)總編輯(2011-2020年)；淡江大學機械與機電工程學系主任(2012-2016年)；國際智慧無人機系統學會(ISIUS)主席(2022-2024年)
專長：微機電系統技術、微型飛行器
興趣：科普寫作、福音傳揚
學歷：國立台灣大學應用力學研究所工學博士(1997年)
經歷：淡江大學機械工程學系專任助理教授(1997-2002年)；美國加州理工學院電機系訪問學者(2000-2001年)；淡江大學機械與機電工程學系專任副教授(2002-2006年)；淡江大學全校儀器實驗中心主任(2003-2008年)；淡江大學機械與機電工程學系專任教授(2006年起，現職)；淡江理工學刊(Journal of Applied Science and Engineering)總編輯(2011-2020年)；淡江大學機械與機電工程學系主任(2012-2016年)；國際智慧無人機系統學會(ISIUS)主席(2022-2024年)
專長：微機電系統技術、微型飛行器
興趣：科普寫作、福音傳揚
目次
Chapter1 微機電科技簡介
Chapter2 半導體製程與設備
Chapter3 矽質微細加工
Chapter4 金氧半微機電技術
Chapter5 高深寬比微加工技術
Chapter6 高分子微機電技術
Chapter7 微感測器技術
Chapter8 微制動器技術
Chapter9 光學微機電系統技術
Chapter10 生醫微機電技術
Chapter11 微流體元件技術
Chapter12 微型飛行器
Chapter13 微機電之封裝與測試技術
Chapter14 微機電系統技術的補充與展望
Chapter2 半導體製程與設備
Chapter3 矽質微細加工
Chapter4 金氧半微機電技術
Chapter5 高深寬比微加工技術
Chapter6 高分子微機電技術
Chapter7 微感測器技術
Chapter8 微制動器技術
Chapter9 光學微機電系統技術
Chapter10 生醫微機電技術
Chapter11 微流體元件技術
Chapter12 微型飛行器
Chapter13 微機電之封裝與測試技術
Chapter14 微機電系統技術的補充與展望
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