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商品簡介
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Nas timas quatro d嶰adas, o desenvolvimento da indtria microeletr鏮ica tem marcado a tend瘽cia para a produ誽o de materiais ultrafinos (com microestrutura nanom彋rica) e ultrapuros (sem impurezas ou defeitos) que garantam um aumento da efici瘽cia funcional das suas pe蓷s com o menor volume poss癉el. O objetivo geral deste trabalho foi sintetizar (deposi誽o e recozimento) filmes ferroel嶰tricos de Titanato de Chumbo (PT) depositados sobre substrato Pt/Ti/SiO2/Si . O m彋odo utilizado foi o CVD-AA devido aos factores acima mencionados. Em geral, neste tipo de filmes, o recozimento ?um passo necess嫫io para obter a fase Perovskite (ferroel嶰trica) desejada. O trabalho inclui a respectiva an嫮ise termo-gravim彋rica, e a sua carateriza誽o cristalogr塻ica e microestrutural. Entre os resultados obtidos podemos referir que os filmes apresentaram uma boa homogeneidade qu璥ica e estrutural a n癉el microm彋rico, as fases presentes nos filmes corresponderam 跴 desejadas, onde se observaram os dom璯ios ferroel嶰tricos.
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