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165反詐騙

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商品類型
簡體書 （1）
商品狀況
無法訂購商品 （1）
庫存狀況
無庫存 （1）
商品定價
$200~$399 （1）
出版日期
2016年以前 （1）
作者
姚漢民 （1）
出版社/品牌
北京工業大學出版社 （1）

三民網路書店 / 搜尋結果

共1筆商品，1/1頁
光學投影曝光微納加工技術（簡體書）
1.

光學投影曝光微納加工技術（簡體書）

作者：姚漢民  出版社：北京工業大學出版社  出版日：2006/12/01 裝訂：平裝
本書系統介紹主流光刻技術——光學投影光刻的工作原理、系統組成、應用和發展前景，詳細介紹投影光刻物鏡、掩模硅片對準、激光定位工件臺、分辨力增強技術以及整機集成。 全書共分七章，第一章為光學投影光刻基礎，介紹光學投影光刻的發展、分類，光學投影光刻的關鍵單元技術及分系統，光學投影光刻在微納加工技術中的應用；第二章為投影光刻的光學系統，包括投影物鏡、照明系統、調平調焦分系統；第三章介紹掩模硅片對
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