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半導體與光電製程及設備
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半導體與光電製程及設備

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 本書 總共分成四大篇,分別是第一篇半導體製程與設備、第二章液晶平面顯示器製程與設備、第三篇結晶矽太陽能光伏製程與設備、第四篇發光二極體製程與設備,每一篇都包含四個章節,全書共十六章。
 薄膜電晶體液晶顯示器、太陽能電池與發光二極體是台灣三大重要的光電產品,然而業界的製程分工細密,就算是已在線上的從業人員,想要一窺產品的製造全貌也並非易事。因此,有志於了解整體製程或相關設備的工程師,熟讀本書後很多疑問就能迎刃而解。
 本書除了可作為現職從事人員的參考書外,更是適用於計畫往這三方面發展學生的面試前必備教材。

 

目次

第一篇 基礎半導體製程與設備

第1章 真空與電漿

第2章 薄膜沈積技術與設備

第3章 微影技術與設備

第4章 蝕刻技術與設備

第二篇 液晶顯示器原理與製程

第5章 液晶顯示器概論

第6章 TFT-LCD顯示模態及運作原理

第7章 TFT-LCD製程

第8章 TFT-LCD新技術

第三篇 結晶矽太陽能光伏製程與設備

第9章 太陽能光伏緒論

第10章 矽基板製備

第11章 結晶矽太陽能光伏製程技術

第12章 新型高轉換效率電池技術發展

第四篇 發光二極體製程與設備

第13章 發光二極體概論

第14章 藍寶石基板製備

第15章 發光二極體磊晶與製程技術

第16章 發光二極體新技術

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