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商品簡介
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本書主要介紹了從晶體生長到集成器件和電路的完整的半導體製造技術，具體包括矽的氧化、光刻、刻蝕、擴散、離子注入、薄膜澱積、工藝集成、集成電路製造、半導體製造的未來趨勢和挑戰等。每章都以引言開始，並逐條列舉學習目標，最後對一些重要的概念進行總結；每章均提供一些實例及解答，最後附有課外習題。 本書可供高等學校微電子相關專業的學生使用，也適合廣大從事微電子技術科研、生產的技術人員參考。
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