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作者簡介
目次
商品簡介
本書是教育部高校博士點基金項目“帶回流集成電路晶圓生產線的平衡優化與控制”和上海市重點學科項目“系統管理”的研究成果之一。本書共分4篇12章，第1篇介紹多重入復雜制造系統、芯片制造系統的概況，同時采用質量機能展開法對芯片制造系統的績效指標進行評價。第2篇介紹離散事件系統的相關建模理論，并采用Petri網和IDEFO兩大建模工具對芯片制造系統進行建模，并結合約束理論，對芯片制造系統的產能規劃進行建模。同時，研究了芯片制造系統的單廠和多廠產能規赳問題。第3篇以芯片制造系統的生產線平衡為研究對象，從作業計劃、投料和調度3個方面進行優化研究。第4篇從實用角度出發，提出層周期等重要概念，并借助物理學的振動原理提出一套實用的調度方法。同時，較全面地介紹芯片制造系統的現場調度規則。 本書可作為大學工業工程方向的教師和研究生的輔助教材，也可作為半導體芯片生產管理人員及電子產業界、特別是芯片生產制造人員的參考用書。
作者簡介
錢省三，上海理工大學教授、博導。微電子發展研究中心主任；中國機械工程學會工業工程分會委員：上海機械工程學會工業工程分會主任，上海市電子學會微電子專業委員會委員。上海市注冊咨詢專家；《半導體技術》雜志社、《研究與發展管理》雜志社及《上海理工大學學報》編委。享受國務院特殊津貼。主要研究領域有工業工程、戰略管理、科技管理等，曾主持或參與研究課題40余項，發表論文逾百篇。多次參與我國集成電路產業發展政策、發展戰略與規劃研究。 曾獲國家科技進步二等獎，上海市科技進步二等獎、三等獎，國家“七五”、“九五”科技攻關先進個人，上海市教委科技管理先進個人，上海市育才獎，等等。
目次
第1篇 緒論
第1章 多重入復雜制造系統概述
1.1 制造系統中重入的概念
1.2 多重入復雜制造系統簡介
1.3 多重入復雜制造系統的分類
1.4 多重入制造類型與傳統制造類型的區別
第2章 芯片復雜制造系統研究概述
2.1 半導體制造概述
2.2 半導體芯片制造工藝
2.3 我國大陸地區大尺寸芯片制造生產模式及發展現狀
2.4 芯片制造系統復雜性分析
2.5 芯片制造系統國內外研究綜述
第3章 芯片制造系統生產績效指標及評價
3.1 芯片制造系統績效指標
3.2 基于質量機能展開的芯片制造系統生產績效評價
第2篇 芯片復雜制造系統建模及其產能規劃
第4章 芯片復雜制造系統建模
4.1 系統及其建模的若干基本概念
4.2 基于IDEFO和Petri網的整合式芯片生產控制系統架構
4.3 基于Petri網理論的芯片制造系統建模
第5章 芯片復雜制造系統產能規劃
5.1 約束理論及其在產能規劃中的應用
5.2 半導體芯片制造產能規劃建模
5.3 半導體芯片制造單廠產能規劃
5.4 半導體芯片制造多廠產能規劃
第3篇 芯片制造系統生產線的平衡優化與控制
第6章 芯片制造系統生產線平衡問題
6.1 傳統生產線平衡問題
6.2 芯片制造系統的生產線平衡問題”
6.3 維持芯片生產線平衡的重要性
6.4 影響芯片生產線平衡的因素
6.5 維持芯片生產線平衡的管理措施
6.6 研究假設
第7章 基于DBR理論的芯片制造系統作業計劃
7.1 DBR理論綜述
7.2 傳統DBR理論的修正
7.3 單一瓶頸設備下的芯片制造系統作業計劃方法
7.4 多臺瓶頸設備下的芯片制造系統作業計劃方法
7.5 DBR理論中的緩沖時間改進
7.6 基于仿真技術的緩沖時間長度的動態確定
7.7 瓶頸資源生產安排的優化方法
第8章 基于生產線平衡的芯片制造系統投料策略
8.1 投料策略中的負荷問題
8.2 傳統動態投料策略的優缺點分析
8.3 基于生產線平衡的芯片制造系統動態投料策略（RRLB）
8.4 目標在制品控制量的確定
8.5 芯片制造系統仿真驗證
第9章 基于生產線平衡的芯片制造系統調度優化研究
9.1 生產調度優化方法
9.2 芯片制造系統的傳統調度優化方法
9.3 基于生產線平衡的芯片制造系統新型調度優化方法
9.4 芯片制造系統調度優化模型
9.5 芯片制造系統在線調度優化系統構建
第10章 芯片復雜制造系統集成控制研究
10.1 芯片復雜制造系統集成控制思想
10.2 芯片制造系統的集成控制系統
第4篇 實用篇
第11章 基于振動理論的新型調度優化（SRVT)方法
11.1 芯片制造系統優化調度思想設計
11.2 調度優化思想設計
11.3 新型調度優化方法仿真驗證
第12章 芯片制造系統現場調度規則
12.1 現場調度總體規則
12.2 各加工區現場調度規則
12.3 芯片制造系統調度人員的能力要求
12.4 瓶頸設備的管理策略
12.5 加工區域間晶圓批的傳送原則
12.6 返工調度策略
附錄A 黃光區加工數據
附錄B 基于SRLB策略的調度優化結果
附錄C 符號索引
附錄D 芯片制造系統常用術語
參考文獻
研究展望與后記
第1章 多重入復雜制造系統概述
1.1 制造系統中重入的概念
1.2 多重入復雜制造系統簡介
1.3 多重入復雜制造系統的分類
1.4 多重入制造類型與傳統制造類型的區別
第2章 芯片復雜制造系統研究概述
2.1 半導體制造概述
2.2 半導體芯片制造工藝
2.3 我國大陸地區大尺寸芯片制造生產模式及發展現狀
2.4 芯片制造系統復雜性分析
2.5 芯片制造系統國內外研究綜述
第3章 芯片制造系統生產績效指標及評價
3.1 芯片制造系統績效指標
3.2 基于質量機能展開的芯片制造系統生產績效評價
第2篇 芯片復雜制造系統建模及其產能規劃
第4章 芯片復雜制造系統建模
4.1 系統及其建模的若干基本概念
4.2 基于IDEFO和Petri網的整合式芯片生產控制系統架構
4.3 基于Petri網理論的芯片制造系統建模
第5章 芯片復雜制造系統產能規劃
5.1 約束理論及其在產能規劃中的應用
5.2 半導體芯片制造產能規劃建模
5.3 半導體芯片制造單廠產能規劃
5.4 半導體芯片制造多廠產能規劃
第3篇 芯片制造系統生產線的平衡優化與控制
第6章 芯片制造系統生產線平衡問題
6.1 傳統生產線平衡問題
6.2 芯片制造系統的生產線平衡問題”
6.3 維持芯片生產線平衡的重要性
6.4 影響芯片生產線平衡的因素
6.5 維持芯片生產線平衡的管理措施
6.6 研究假設
第7章 基于DBR理論的芯片制造系統作業計劃
7.1 DBR理論綜述
7.2 傳統DBR理論的修正
7.3 單一瓶頸設備下的芯片制造系統作業計劃方法
7.4 多臺瓶頸設備下的芯片制造系統作業計劃方法
7.5 DBR理論中的緩沖時間改進
7.6 基于仿真技術的緩沖時間長度的動態確定
7.7 瓶頸資源生產安排的優化方法
第8章 基于生產線平衡的芯片制造系統投料策略
8.1 投料策略中的負荷問題
8.2 傳統動態投料策略的優缺點分析
8.3 基于生產線平衡的芯片制造系統動態投料策略（RRLB）
8.4 目標在制品控制量的確定
8.5 芯片制造系統仿真驗證
第9章 基于生產線平衡的芯片制造系統調度優化研究
9.1 生產調度優化方法
9.2 芯片制造系統的傳統調度優化方法
9.3 基于生產線平衡的芯片制造系統新型調度優化方法
9.4 芯片制造系統調度優化模型
9.5 芯片制造系統在線調度優化系統構建
第10章 芯片復雜制造系統集成控制研究
10.1 芯片復雜制造系統集成控制思想
10.2 芯片制造系統的集成控制系統
第4篇 實用篇
第11章 基于振動理論的新型調度優化（SRVT)方法
11.1 芯片制造系統優化調度思想設計
11.2 調度優化思想設計
11.3 新型調度優化方法仿真驗證
第12章 芯片制造系統現場調度規則
12.1 現場調度總體規則
12.2 各加工區現場調度規則
12.3 芯片制造系統調度人員的能力要求
12.4 瓶頸設備的管理策略
12.5 加工區域間晶圓批的傳送原則
12.6 返工調度策略
附錄A 黃光區加工數據
附錄B 基于SRLB策略的調度優化結果
附錄C 符號索引
附錄D 芯片制造系統常用術語
參考文獻
研究展望與后記
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