半導體製造業晶圓設施安全檢核指引：煙控系統燻煙系統

本指引乃針對晶圓廠中四種負壓設施—煙控系統、燻煙系統、洗滌塔、濕式清洗檯—提出安全查核項目。提供業界採購相關設施及工作人員檢查時之安全標準參考，期能降低事故之發生，提昇晶圓廠之安全衛生水準。 

目錄................................................................................................................................... i
圖目錄.............................................................................................................................. ii
表目錄.............................................................................................................................iii
壹、煙控系統（Smoke Control System）安全檢核指引......................................... 1
一、煙控系統.......................................................................................................... 2
二、煙控系統安全檢核表...................................................................................... 4
貳、燻煙排氣系統（Fume Exhaust System）安全檢核指引................................ 13
一、燻煙排氣系統................................................................................................ 14
二、燻煙排氣系統安全檢核表............................................................................ 15
參、洗滌塔(Scrubber)安全檢核指引....................................................................... 22
一、區域性及中央控制洗滌塔（Local and Central Scrubber）........................ 23
二、區域性與中央洗滌塔安全檢核表................................................................ 33
（一）水洗式區域性洗滌塔設施安全現況檢核表.......................................... 35
（二）吸附式（兼含加熱）區域性洗滌塔設施安全現況檢核表.................. 51
（三）燃燒兼水洗式洗滌塔設施安全現況檢核表.......................................... 68
（四）中央控制洗滌塔設施安全檢核表.......................................................... 87
肆、濕式清洗檯（Wet Bench）安全檢核指引...................................................... 93
一、濕式清洗檯.................................................................................................... 94
二、濕式清洗檯安全檢核表................................................................................ 98
附件一 安全互鎖(Interlock)檢核清單................................................................... 121
附件二 漏電流量測................................................................................................ 122
附件三 對地電阻量測............................................................................................ 123
附件四 二氧化碳滅火設備設置規則.................................................................... 124
附件五 超音波測漏技術........................................................................................ 126
附件六 風機性能曲線分析.................................................................................... 127