Control of Semiconductor Surfaces and Interfaces:VOLUME448
商品資訊
系列名:MRS Proceedings
ISBN13:9781558993525
出版社:CAMBRIDGE UNIVERSITY PRESS
作者:Edited by S. K. Brierley ; J. M. Gibson ; O. J. Glembochi ; S. M. Prokes ; J. M. Woodall
出版日:1997/07/15
裝訂/頁數:平裝/505頁
版次:1
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商品簡介
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Proceedings of the December 1996 symposium, presenting the latest research on the structure of surfaces, control of surface defects and properties through chemical etching and passivation, modification of surfaces for growth and processing, nucleation on semiconductor surfaces and self-assembly, effects of surfaces and interfaces on subsequent growth, and properties of semiconductor/dielectric and semiconductor/metal interfaces. In situ and ex situ monitoring of these properties, using various electrical and optical techniques, is also discussed. Annotation c. by Book News, Inc., Portland, Or.
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