相關商品
商品簡介
作者簡介
目次
商品簡介
納米科學與技術是近年來在全球範圍內廣受重視的一門飛速發展的新興學科，而納米測量學與納米材料學、納米電子學、納米生物學、納米機械學和納米光學一樣，已經成為納米科學與技術的重要研究方向之一。《納米尺度幾何量和機械量測量技術/國家出版基金資助項目“十二五”國家重點圖書》在總結作者科研工作的基礎上，較全面地對納米尺度線寬（CD）測量，納米尺度邊緣粗糙度（LER）測量，納米尺度微力、楊氏模量和剛度測量以及微納尺度固液界面邊界條件測量進行了論述。書中多為作者多年從事納米測量相關研究的科研成果、實踐經驗與心得體會。《納米尺度幾何量和機械量測量技術/國家出版基金資助項目“十二五”國家重點圖書》對從事該領域研究工作的科研人員具有一定的借鑒意義。
作者簡介
趙學增，哈爾濱工業大學機電工程學院教授，博士生導師。1961年1月生人。部級有突出貢獻中青年專家，享受國務院政府特殊津貼，黑龍江省青年科技獎獲得者，省優秀教師。主要社會兼職：中國計量測試協會“計量儀器”專業委員會，中國納米標準化技術委員會委員。主要研究方向：傳感與測控技術、納米尺度幾何量的測量和表徵。主持完成28項科研項目，其中國家自然基金2項；獲省部科技進步三等獎7項；發表學術論文241篇，其中scI檢索43篇、EI檢索93篇。
目次
第1章 納米尺度線寬（CD）測量1.1 概述1.1.1 納米尺度線寬（CD）測量研究的應用背景1.1.2 Nano 1線寬測量國際比對項目1.1.3 常用的線寬測量技術和方法簡介1.1.4 納米線寬（CD）測量的研究現狀1.1.5 目前線寬測量工具存在的缺點與不足1.2 原子力顯微鏡AFM及其在線寬測量中的應用1.2.1 原子力顯微鏡概述1.2.2 AFM在線寬測量中的應用1.2.3 原子力顯微鏡的最新發展1.3 線寬的測量模型與算法1.3.1 基於最小二乘法原理的測量模型1.3.2 基於最小二乘模型的測量結果分析1.3.3 使用不同探針測量結果的比較1.4 掃描圖像數據的分析及誤差修正1.4.1 探針膨脹作用的消除1.4.2 掃描圖像的濾波去噪1.4.3 樣本傾斜位置的修正1.5 線寬測量誤差及不確定度分析1.5.1 不確定度的估計與合成1.5.2 線寬的計算及誤差修正1.5.3 線寬測量的不確定度分析1.5.4 實驗與不確定度值的估算1.6 雙圖像拼接法的研究1.6.1 雙圖像拼接法的提出1.6.2 剛體的空間位置變換1.6.3 掃描圖像的匹配1.6.4 圖像的插值和擬合1.6.5 實驗與結果分析參考文獻第2章 納米尺度邊緣粗糙度（LER）測量2.1 概述2.1.1 納米尺度邊緣粗糙度（LER）測量的研究背景2.1.2 線邊緣粗糙度的研究內容及其發展2.1.3 線邊緣粗糙度測量技術的研究現狀2.1.4 線邊緣粗糙度測量的關鍵問題分析2.2 線邊緣粗糙度的定義及其表徵參數的研究2.2.1 線邊緣粗糙度測量的需求分析2.2.2 線邊緣粗糙度的定義研究2.2.3 線邊緣粗糙度的表徵參數2.3 基於AFM的線邊緣粗糙度測量模型2.3.1 測量樣本與測量條件2.3.2 線邊緣粗糙度測量模型的建立2.3.3 測量結果與分析2.4 線邊緣粗糙度的多尺度表徵方法研究2.4.1 線邊緣粗糙度特性分析2.4.2 基於冗餘第二代小波變換的LER多尺度表徵2.4.3 隨機輪廓仿真與分析2.4.4 測量結果與分析2.5 AFM測量線邊緣粗糙度影響因素的研究2.5.1 探針對掃描圖像的影響2.5.2 AFM掃描圖像噪聲的影響2.5.3 壓電晶體驅動精度的影響2.5.4 掃描採樣間隔的影響參考文獻第3章 納米尺度微力、楊氏模量和剛度測量3.1 概述3.1.1 納米尺度力學量測量的研究意義和背景3.1.2 AFM在納米尺度力學測量中的應用狀況3.1.3 微懸臂梁製造與應用狀況3.1.4 微懸臂梁剛度測量的研究現狀3.2 微懸臂梁頻率響應特性研究3.2.1 微懸臂梁振動分析3.2.2 基於有限元法的微懸臂梁頻率響應特性仿真3.2.3 楊氏模量與離面彎曲固有頻率關係模型3.3 流體環境對微懸臂梁頻率響應影響研究3.3.1 簡化分析法3.3.2 微懸臂梁尺寸效應和流固耦合效應3.3.3 簡化氣彈模型方法3.3.4 計算流體力學方法3.4 微懸臂梁剛度測量方法研究3.4.1 微懸臂梁楊氏模量測試3.4.2 微懸臂梁剛度測量3.4.3 剛度測量結果與分析3.5 微懸臂梁剛度校正3.5.1 安裝傾斜角對剛度的影響分析3.5.2 針尖位置對微懸臂剛度的影響分析3.5.3 接觸剛度對微懸臂梁剛度影響的分析3.5.4 面內變形對剛度的影響分析3.5.5 等效剛度綜合校正參考文獻第4章 微納尺度固液界面邊界條件測量4.1 概述4.1.1 研究背景4.1.2 疏水表面納米氣泡研究進展4.1.3 固液界面邊界滑移研究進展及其測量技術4.1.4 納米氣泡與邊界滑移關係研究進展4.1.5 納米氣泡與邊界滑移研究中存在的問題4.2 聚苯乙烯表面納米氣泡AFM成像4.2.1 改進的液體中微懸臂夾持器4.2.2 聚苯乙烯表面納米氣泡特徵4.2.3 影響納米氣泡成像掃描參數4.2.4 力調製模式下探針與納米氣泡的相互作用研究4.3納米氣泡產生納米凹痕的機理研究4.3.1 納米氣泡存在對聚苯乙烯表面的影響4.3.2 疏水表面納米凹痕形成4.3.3 納米凹痕形成機理4.4表面納米結構提高納米氣泡非移動性研究4.4.1 納米尺度動態接觸角測量技術4.4.2 納米氣泡非移動性理論模型4.4.3 納米氣泡非移動性實驗驗證4.5 固液界面滑移長度測量方法的研究4.5.1 納米氣泡與邊界滑移關係模型4.5.2 實驗裝置及樣品製備4.5.3 接觸模式AFM滑移長度的測量4.5.4 敲擊模式AFM滑移長度的測量4.5.5 納米氣泡與邊界滑移關係的實驗驗證參考文獻附錄作者發表的與本書相關的文章 術語索引
您曾經瀏覽過的商品
購物須知
大陸出版品因裝訂品質及貨運條件與台灣出版品落差甚大，除封面破損、內頁脫落等較嚴重的狀態，其餘商品將正常出貨。
特別提醒：部分書籍附贈之內容(如音頻mp3或影片dvd等)已無實體光碟提供，需以QR CODE 連結至當地網站註冊“並通過驗證程序”，方可下載使用。
無現貨庫存之簡體書，將向海外調貨：
海外有庫存之書籍，等候約45個工作天;
海外無庫存之書籍，平均作業時間約60個工作天，然不保證確定可調到貨，尚請見諒。
為了保護您的權益，「三民網路書店」提供會員七日商品鑑賞期(收到商品為起始日)。
若要辦理退貨，請在商品鑑賞期內寄回，且商品必須是全新狀態與完整包裝(商品、附件、發票、隨貨贈品等)否則恕不接受退貨。