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目次
目錄
1緒論……001
1.1 莫爾條紋原理及應用……001
1.2 莫爾條紋細分意義……003
1.3 光柵納米測量的研究現狀及發展趨勢……004
2莫爾條紋細分技術……008
2.1 莫爾條紋細分基本原理……008
2.2 傳統的低倍莫爾條紋細分方法……009
2.3 現有的高倍莫爾條紋細分方法……011
2.4 莫爾條紋細分技術發展趨勢……016
2.5 本書的研究工作……016
3莫爾條紋特性分析……018
3.1 光柵傳感器特性分析……018
3.2 莫爾條紋空間特性分析……019
3.3 莫爾條紋時間特性分析……024
4基于時間信號的莫爾條紋小波細分法……026
4.1 光柵傳感器輸出信號采集與處理……026
4.2 小波細分法……032
4.3 仿真與實驗……039
5基于空間信號的莫爾條紋校正傅里葉細分法……045
5.1 莫爾條紋空間信號采集與分析……045
5.2 基于傅里葉變換的細分原理……048
5.3 基于CCD采集的空間信號的校正傅里葉細分法……050
5.4 基于CMOS采集的空間信號的校正多相位傅里葉細分法……059
6光柵柵距動態測量……070
6.1 光柵柵距誤差分析……070
6.2 現有的柵距測量方法……072
6.3 光柵柵距動態測量方法……072
6.4 累積誤差和細分誤差修正……083
6.5 動態柵距測量在實際應用中的意義……085
7新型光柵納米測量裝置……086
7.1 兩種細分方法適用的場合……086
7.2 關鍵問題的進一步解決方案……087
7.3 新型光柵納米測量裝置構建……088
參考文獻……090
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