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Design for Manufacturability With Advanced Lithography
商品資訊
ISBN13：9783319203843
出版社：Springer Verlag
作者：Bei Yu; David Z. Pan
出版日：2015/11/23
裝訂：精裝
規格：23.5cm*15.5cm (高/寬)
定價
：NT$ 4455 元優惠價
：90 折 4010 元
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商品簡介
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商品簡介
This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL). The authors describe in detail a set of algorithms/methodologies to resolve issues in modern design for manufacturability problems with advanced lithography. Unlike books that discuss DFM from the product level or physical manufacturing level, this book describes DFM solutions from a circuit design level, such that most of the critical problems can be formulated and solved through combinatorial algorithms.
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