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商品簡介
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本書以作者攻讀博士學位期間承擔相關課題的工作為基礎，圍繞飛秒激光微器件製備質量優化中的若干問題，系統闡述了像差補償、加工光斑三維整形以及掃描步距優化等方面的理論與實驗研究。全書共分為七章，內容包括飛秒激光微加工領域國內外研究的現狀、飛秒激光雙光子微加工機理及系統、空氣和被加工材料折射率不同對微加工的影響及其補償方法、飛秒激光微加工焦點光斑的三維整形、掃描步距對微器件表面質量的影響及其優化方法等。本書適合從事飛秒激光微加工研究的工程技術人員和科研人員使用和參考。
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