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射頻等離子體物理基礎（簡體書）
商品資訊
系列名：科學出版社“十四五”普通高等教育本科規劃教材
ISBN13：9787030779922
出版社：科學出版社
作者：王友年; 宋遠紅; 張鈺如
出版日：2024/05/01
裝訂／頁數：平裝／442頁
商品簡介
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商品簡介
《射頻等離子體物理基礎》較為全面、系統地介紹了低氣壓非熱平衡等離子體的物理基礎和射頻等離子體特性。《射頻等離子體物理基礎》分兩大部分，其中第一部分為第1～8章，主要介紹低溫等離子體的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、動理學模型、流體力學模型、穩態輸運模型、射頻鞘層模型、整體模型等;第二部分為第9～14章，側重介紹不同類型的射頻放電和射頻等離子體特性，如容性耦合等離子體、甚高頻容性耦合等離子體中的電磁效應、柱狀線圈感性耦合等離子體、平面線圈感性耦合等離子體、螺旋波等離子體和電子回旋共振微波等離子體。
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