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高頻寬帶體聲波濾波器技術（簡體書）
商品資訊
系列名：半導體科學與技術叢書
ISBN13：9787030786883
出版社：科學出版社
作者：李國強
出版日：2024/07/16
裝訂／頁數：精裝／377頁
商品簡介
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商品簡介
本書共8章。第1章介紹濾波器的發展史，著重分析射頻濾波器的種類及體聲波濾波器的研發進展。第2章和第3章從體聲波濾波器的物理基礎出發，基於聲波的傳輸理論與材料的壓電理論推導出器件仿真模型，並以兩款體聲波濾波器的設計案例介紹設計方法的應用，展現關鍵影響因素在設計過程中的調整規律。第4-6章依次介紹了AIN薄膜的製備與表徵方法、體聲波濾波器的關鍵製備工藝與封裝技術，結合本書作者團隊的研究成果，表明了單晶AlN體聲波濾波器(SABAR)技術路線較多晶AIN路線的優勢等。
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