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(德)安迪‧愛德曼
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上海科學技術出版社
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作者:安迪 愛德曼
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光學光刻和極紫外光刻(簡體書)
作者:
(德)安迪‧愛德曼
出版社:
上海科學技術出版社
出版日:
2023/01/01
裝訂:
平裝
《光學光刻和極紫外光刻》是一本最新的光刻技術專著,內容涉及該領域的各個重要方面。在介紹光刻技術應用上,涵蓋了全面又豐富的內容;在論述光刻技術的物理機制和數學模型時,採用了完整而不繁瑣的方法,增加了可讀性。本書在系統地闡述了光學光刻技術的基本內容後,還專門開闢章節,介紹了最先進的極紫外光刻技術的特點和難點,揭示了極紫外光刻的技術奧秘。本書具有全面、完整、翔實和新穎的特點,它凝聚了作者三十多年光刻領域科研和教學的精華。
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