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商品類型
簡體書 （1）
商品狀況
無法訂購商品 （1）
庫存狀況
無庫存 （1）
商品定價
$600~$799 （1）
出版日期
2020~2021 （1）
裝訂方式
平裝 （1）
作者
(法)帕斯卡‧夏伯特 （1）
出版社/品牌
科學出版社 （1）

三民網路書店 / 搜尋結果

共1筆商品，1/1頁
射頻等離子體物理學（簡體書）
1.

射頻等離子體物理學（簡體書）

作者：(法)帕斯卡‧夏伯特  出版社：科學出版社  出版日：2021/12/28 裝訂：平裝
針對微電子工業中的材料處理工藝（如半導體晶片加工），介紹有關的的低氣壓射頻等離子體的產生方法及物理特性，涉及目前最重要的三種射頻等離子體源（單頻及多頻電容耦合，電感耦合，螺旋波耦合）及其關聯性。書中也論述了低溫高密度等離子體在微電子器件製備等領域應用的最新進展及相關技術問題。作者在書中精心設計了超過100道習題，有利於讀者深入瞭解掌握所涉及的基本概念。
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