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SOI:納米技術時代的高端矽基材料(簡體書)
作者:
林成魯
出版社:
中國科學技術大學出版社
出版日:
2009/06/01
裝訂:
平裝
絕緣體上硅(silicon on insulator,SOI)技術在高速、低壓低功耗電路、高壓電路、抗輻射、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面具有重要應用,是微電子和光電子領域發展的前沿,被國際上公認為“二十一世紀的硅集成電路技術”。本書收集的納米技術時代的高端硅基SOI材料方面的研究論文40篇,主要內容包括:SOI——納米技術時代的高端硅基材料進展,SOI新材料的制備科學,SOI材料與器件
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