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存儲器工藝與器件技術（簡體書）
作者：
霍宗亮
;
夏志良
;
靳磊
;
王頎
;
洪培真
出版社：
清華大學出版社(大陸)
出版日：
2023/08/31
裝訂：
平裝
存儲器是半導體產業的基石之一。隨著全球物聯網、大數據中心、智能家居、穿戴設備等應用帶動的數據存儲市場的快速增長，NAND存儲器日益成為當前存儲器市場的主流。本教材重點介紹半導體存儲器分類、閃存技術、3D NAND陣列、3D NAND製造工藝、3D NAND操作、3D NAND電學與可靠性特性以及3D NAND 電路設計。本教材可供高等院校的高年級本科生和研究生，集成電路和存儲器方向研發工程師、製造工程師參考，為中國存儲器事業添磚加瓦，推動科學創新產業化。
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