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165反詐騙

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商品類型
簡體書 （1）
商品狀況
可訂購商品 （1）
庫存狀況
無庫存 （1）
商品定價
$400~$599 （1）
出版日期
2018~2019 （1）
裝訂方式
平裝 （1）
作者
竇銀萍 （1）
出版社/品牌
國防工業出版社 （1）

三民網路書店 / 搜尋結果

共1筆商品，1/1頁
激光等離子體極紫外光刻光源（簡體書）
1.

激光等離子體極紫外光刻光源（簡體書）

作者：竇銀萍  出版社：國防工業出版社  出版日：2019/01/01 裝訂：平裝
本書首先介紹了用於光刻的激光等離子體極紫外光源的靠前外發展現狀，並系統闡述激光等離子體光源的相關理論。其次，介紹了用於6.7nm光源探測的平像場光柵光譜儀的設計、搭建及標定。重點介紹了激光參數及靶條件對光源光譜輸出特性的影響，包括釓（Gd）靶激光等離子體的極紫外光譜及離帶熱輻射特性，預等離子體條件下Gd金屬靶等離子體的極紫外光譜特性，收集方向對極紫外光譜特性影響及Gd2O3納米粒子摻雜玻璃靶等離子
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