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半導體黃光製程有害物暴露及異味調查研究
作者：
汪禧年
;
謝瑞豪
出版社：
行政院勞委會勞工安全衛生研究所
出版日：
2011/03/01
裝訂：
平裝
半導體潔淨室黃光區(Photo area)異味問題，一直為國內高科技產業潔淨室工業安全衛生的困擾，輕微異味會引起勞工的報怨影響工作效率，發生嚴重異味時，甚至於暫時撤廠，每年發生的暫時撤廠，造成嚴重之停產損失。此外為了潔淨室的空氣品質，需要以大量的新鮮空氣稀釋，也需要使用的化學濾網去除環境中的揮發性有機氣體，有異味發生時，外氣稀釋量需要增加，同時也減少化學濾網的壽命，增加設施成本。本研究以系統性的方
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