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微機電系統技術基礎(簡體書)
作者：
石庚辰
;
郝一龍
出版社：
中國電力出版社
出版日：
2006/08/01
裝訂：
平裝
本書系統地介紹了有關微機電系統的知識，主要內容包括微機電系統的基本概念、微機電系統所用材料、微機電系統的加工技術、微機電系統的設計技術，微機電系統的組成、檢測及應用技術。內容詳實、圖文并茂。 本書可供機械電子工程等有關專業的本科生和研究生作為教材使用，也可供相關領域的工程技術人員以及有關科技管理部門的人員參考使用。
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