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165反詐騙

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商品類型
簡體書 （1）
商品狀況
可訂購商品 （1）
庫存狀況
無庫存 （1）
商品定價
$400~$599 （1）
出版日期
2023~2024 （1）
裝訂方式
平裝 （1）
作者
(日)野尻一男 （1）
出版社/品牌
機械工業出版社 （1）

三民網路書店 / 搜尋結果

共1筆商品，1/1頁
半導體乾法刻蝕技術(原書第2版)（簡體書）
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1.

半導體乾法刻蝕技術(原書第2版)（簡體書）

作者：(日)野尻一男  出版社：機械工業出版社  出版日：2024/01/05 裝訂：平裝
本書針對幹法刻蝕技術，在內容上涵蓋了從基礎知識到最新技術，使初學者能夠瞭解幹法刻蝕的機理，而無需複雜的數值公式或方程。本書不僅介紹了半導體器件中所涉及材料的刻蝕工藝，而且對每種材料的關鍵刻蝕參數、對應的等離子體源和刻蝕氣體化學物質進行了詳細解釋。本書討論了具體器件製造流程中涉及的幹法刻蝕技術，介紹了半導體廠商實際使用的刻蝕設備的類型和等離子體產生機理，例如電容耦合型等離子體、磁控反應離子刻蝕、電子回旋共振等離子體和電感耦合型等離子體，並介紹了原子層沉積等新型刻蝕技術。
海外經銷商無庫存，到貨日平均30天至45天
定價：534 元， 優惠價：87 465
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