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商品類型

簡體書 (1)
商品狀況

無法訂購商品 (1)
庫存狀況

無庫存 (1)
商品定價

$200~$399 (1)
出版日期

2016年以前 (1)
裝訂方式

平裝 (1)
作者

顧文琪 (1)
出版社/品牌

北京工業大學出版社 (1)

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1筆商品,1/1頁
作者:顧文琪  出版社:北京工業大學出版社  出版日:2006/12/01 裝訂:平裝
離子束加工是利用荷能離子與工件表面發生物理和化學反應,從而實現材料刻蝕、注入、沉積和改性的微米納米加工技術。離子束加工可分為常規離子束加工和聚焦離子束加工。近年來,隨著納米科技和半導體集成電路產業的飛速發展,具有多功能、高分辨率的聚焦離子束加工技術受到人們空前的重視,它已成為當前微米納米加工的重要手段。 本書重點講述聚焦離子束技術的原理;聚焦離子束系統的結構,包括離子源、離子光學柱體、圖
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