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商品類型

簡體書 (1)
商品狀況

可訂購商品 (1)
庫存狀況

無庫存 (1)
商品定價

$199以下 (1)
出版日期

2017年以前 (1)
裝訂方式

平裝 (1)
作者

孫以材、龐冬青 (1)
出版社/品牌

冶金工業出版社 (1)

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1筆商品,1/1頁
微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎(簡體書)
滿額折
作者:孫以材; 龐冬青  出版社:冶金工業出版社  出版日:2009/03/01 裝訂:平裝
MEMS技術是21世紀發展的重大技術,涉及國防、航天、醫療等領域。本書以各種微型閥、微型泵、微型馬達、壓電元器件的製造為目的,闡述其功能,所依據的物理原理及定律。本書還詳細介紹了電學,熱學和力學有限元方法的要領,相關軟件的使用及硅片的加工處理方法。閱讀本書,可以為MEMS元件的設計和製造打下較好的基礎,從而可以靈活應用所學知識。 本書可供國防、航天、醫療等專業的技術人員閱讀,也可供大專院校有關專業
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