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$600~$799 (1)

出版日期


2018~2019 (1)

裝訂方式


精裝 (1)

作者


郭東明、康仁科 (1)

出版社/品牌


電子工業出版社 (1)

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矽片的超精密磨削理論與技術(簡體書)
滿額折

1.矽片的超精密磨削理論與技術(簡體書)

作者:郭東明; 康仁科  出版社:電子工業出版社  出版日:2019/06/01 裝訂:精裝
本書在介紹單晶矽的物理、化學和半導體性質,以及單晶矽片在集成電路製造中的應用和加工要求的基礎上,全面系統地闡述了矽片旋轉磨削原理、超精密磨削機理、超精密磨削工藝、超精密磨床,完整地總結了著者及其團隊十多年來在矽片超精密磨削理論與技術方面的研究成果。全書共9章,其中第1章介紹單晶矽的基本性質與應用,第2章介紹集成電路製造工藝及矽片加工相關術語,第3章介紹矽片的磨削方法與理論分析,第4章介紹矽片超精密
定價:768 元, 優惠價:87 668
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