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本書重點介紹了作者課題組近幾年來在國家自然科學基金、國防預研基金、重點實驗室基金等一系列基礎研究項目的支援下,在物理氣相沉積硬質薄膜強韌化方法、理論、表徵及強韌化薄膜應用領域的研究成果。主要論述了如何製備和表徵具有強、韌性能的薄膜,包括薄膜的製備方法,薄膜強化技術,薄膜韌化技術,薄膜的強韌性能表徵,薄膜內應力,強韌化薄膜實例。
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