AlB2-type WB2基硬質薄膜的製備與性能研究（簡體書）

《AlB2-type WB2基硬質薄膜的製備與性能研究》介紹了超硬自潤滑硼化物薄膜――AlB2-type WB2基超硬薄膜的製備及改性。系統地描述了工藝參數(基體偏壓、沉積溫度、工作壓強、靶功率)及N、C摻雜對AlB2-type WB2基硬質薄膜結構和性能(力學、摩擦熱穩定性等)的影響規律及作用機制，建立了工藝參數、薄膜結構演變與性能之間的關係，揭示三種薄膜的強化機理及退化機制，闡述了AlB2-type WB2基硬質薄膜的潛在應用價值，為其他過渡族金屬硼化物塗層的製備及改性提供了理論基礎。

劉豔明，女，中國科學院金屬研究所，碩博連讀。現為西安石油大學材料科學與工程學院，講師。主要研究方向：硬質、耐磨塗層的設計與製備及其結構和性能研究。已在國內外期刊發表學術論文6篇，其中SCI收錄6篇，申請發明專利3項。現主持國家自然科學青年科學基金項目1項，陝西省自然科學青年科學基金項目1項。

第1章 緒論
1.1 硬質薄膜及其發展歷程
1.1.1 普通硬質薄膜
1.1.2 內稟性超硬薄膜
1.1.3 外稟性硬質薄膜
1.2 硬質薄膜的研究熱點及問題
1.2.1 硬質薄膜製備
1.2.2 硬質薄膜組元微結構設計與其強化機制
1.2.3 高性能硬質薄膜
1.2.4 高性能靶材
1.3 硬質薄膜的製備技術
1.3.1 化學氣相沉積
1.3.2 物理氣相沉積
1.4 硬質薄膜的表徵方法
1.4.1 薄膜的顯微結構
1.4.2 薄膜的硬度
1.4.3 薄膜的摩擦磨損性能
1.4.4 薄膜的結合強度
1.4.5 薄膜的殘餘應力
1.5 WB2、W-B-N(C)硬質薄膜
1.5.1 WB2相的研究現狀
1.5.2 W-B-N(C)硬質薄膜的研究現狀
1.5.3 AlB2-type WB2、W-B-N(C)硬質薄膜的研究內容
第2章 AlB2-type WB2超硬薄膜的製備及表徵
2.1 實驗材料與方法
2.1.1 靶材與基體
2.1.2 磁控濺射設備
2.1.3 薄膜製備
2.1.4 薄膜的表徵方法
2.2 實驗結果與討論
2.2.1 薄膜形貌
2.2.2 薄膜成分及化學鍵狀態
2.2.3 薄膜相結構
2.2.4 薄膜顯微結構
2.2.5 薄膜硬度和彈性模量
2.2.6 薄膜結合強度
2.2.7 薄膜摩擦磨損性能
2.3 小結
第3章 AlB2-type WB2薄膜的工藝參數優化
3.1 實驗材料與方法
3.1.1 靶材與基體
3.1.2 AlB2-type WB2薄膜的製備
3.1.3 AlB2-type WB2薄膜的表徵方法
3.2 實驗結果與討論
3.2.1 基片偏壓對AlB2-type WB2薄膜結構及性能的影響
3.2.2 基片溫度對AlB2-type WB2薄膜結構及性能的影響
3.2.3 工作壓強對AlB2-type WB2薄膜結構及性能的影響
3.2.4 靶功率對AlB2-type WB2薄膜結構及性能的影響
3.3 小結
第4章 W-B-N複合薄膜的製備及表徵
4.1 實驗材料與方法
4.1.1 W-B-N薄膜的製備
4.1.2 W-B-N薄膜的表徵方法
4.2 實驗結果與討論
4.2.1 W-B-N薄膜成分及結構
4.2.2 W-B-N薄膜殘餘應力
4.2.3 W-B-N薄膜力學及摩擦磨損性能
4.2.4 W-B-N薄膜抗腐蝕性能
4.2.5 W-B-N薄膜熱穩定性
4.3 小結
第5章 W-B-C複合薄膜的製備及表徵
5.1 實驗材料與方法
5.1.1 W-B-C薄膜的製備
5.1.2 W-B-C薄膜的表徵方法
5.2 實驗結果與討論
5.2.1 W-B-C薄膜成分及結構
5.2.2 W-B-C薄膜殘餘應力
5.2.3 W-B-C薄膜力學及摩擦磨損性能
5.2.4 W-B-C薄膜熱穩定性
5.3 小結
參考文獻