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商品簡介
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本書集作者多年來的實踐經驗與研究成果，並結合近年來國際上的最新發展，綜合介紹了微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束 加工技術、掃描探針加工技術、微納米尺度的複製技術、各種沉積法與刻蝕法圖形轉移技術、間接納米加工技術與自組裝納米加工技術。對各種加工技術的介紹著重 講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，並注意給出典型的工藝參數；充分分析了各種技術的優缺點及在應用過程中的注意事項；以大量圖表與實例說明各種加工方法，避免煩瑣的數學分析；並以專門一章介紹了微納米加工技術在現代高新技術領域的應用，演示了如何靈活應用微納米加工技術來推動這些領域的技術進步。
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