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從表面化學分析的性質、內容和特點出發，論述以一定能量的粒子（光子、電子和離子）以及（電、力）場與物質相互作用的機理產生的各種譜學的基本原理、裝置和技術、譜圖分析以及應用舉例。重點在基礎知識的講解，并引入定量表面分析中的計算和模擬理論。本書主要用作化學、化工專業研究生專業基礎教材，也可供從事表現物理、化學分析及材料研究工作者閱讀。
目次
第1章 緒論
1.1 表面的重要性
1.2 表現特性
1.3 表現科學與表現分析
1.4 表現分析技術
思考題
參考文獻
第2章 電子能譜學
2.1 基本原理
2.2 結合能的實驗測定
2.3 表現化學位移
2.4 金屬原子簇
2.5 荷電效應及其補償
2.6 反向光電子能譜
思考題
參考文獻
第3章 電子能譜儀的結構與實驗技術
3.1 電子能譜儀結構框圖
3.2 激發源
3.3 能量分析器
3.4 檢測器系統
3.5 真空系統
3.6 實驗技術
3.7 計算機收譜及數據處理
3.8 XPS實驗報告
3.9 電子能譜儀的最新進展
思考題
參考文獻
第4章 XPS譜圖分析
4.1 終態效應及電子譜線的伴線結構
4.2 化學位移與化學態
4.3 固體表現能譜
思考題
參考文獻
第5章 XPS的定性、定量分析
5.1 定性分析
5.2 定量分析
思考題
參考文獻
第6章 XPS的應用
6.1 XPS的常規應用
6.2 XPS的特殊用途
思考題
參考文獻
第7章 XPS在半導體材料、表現薄膜和微電子器件中的應用
7.1 前言
7.2 XPS檢測半導體表現污染
7.3 角解析XPS（ARXPS或可變極角XPS）的應用
……
第8章 紫外光電子能譜和XPS價帶譜
第9章 俄歇電子能譜
第10章 定量表面分析中的計算與模擬
第11章 二次離子質譜
第12章 離子散射譜
第13章 超高真空掃描隧道微學
第14章 掃描力顯微學
附錄1 表面化學分析和國際標準化工作
附錄2 表面結構的命名
附錄3 高聚物Cls化學位移表
主要索引
1.1 表面的重要性
1.2 表現特性
1.3 表現科學與表現分析
1.4 表現分析技術
思考題
參考文獻
第2章 電子能譜學
2.1 基本原理
2.2 結合能的實驗測定
2.3 表現化學位移
2.4 金屬原子簇
2.5 荷電效應及其補償
2.6 反向光電子能譜
思考題
參考文獻
第3章 電子能譜儀的結構與實驗技術
3.1 電子能譜儀結構框圖
3.2 激發源
3.3 能量分析器
3.4 檢測器系統
3.5 真空系統
3.6 實驗技術
3.7 計算機收譜及數據處理
3.8 XPS實驗報告
3.9 電子能譜儀的最新進展
思考題
參考文獻
第4章 XPS譜圖分析
4.1 終態效應及電子譜線的伴線結構
4.2 化學位移與化學態
4.3 固體表現能譜
思考題
參考文獻
第5章 XPS的定性、定量分析
5.1 定性分析
5.2 定量分析
思考題
參考文獻
第6章 XPS的應用
6.1 XPS的常規應用
6.2 XPS的特殊用途
思考題
參考文獻
第7章 XPS在半導體材料、表現薄膜和微電子器件中的應用
7.1 前言
7.2 XPS檢測半導體表現污染
7.3 角解析XPS（ARXPS或可變極角XPS）的應用
……
第8章 紫外光電子能譜和XPS價帶譜
第9章 俄歇電子能譜
第10章 定量表面分析中的計算與模擬
第11章 二次離子質譜
第12章 離子散射譜
第13章 超高真空掃描隧道微學
第14章 掃描力顯微學
附錄1 表面化學分析和國際標準化工作
附錄2 表面結構的命名
附錄3 高聚物Cls化學位移表
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