真空測量與控制（簡體書）

本書系統地介紹了真空測量、真空校準、真空檢漏、真空控制的原理和方法，介紹的主要內容有真空測量技術、液位式真空計、熱傳導真空計、熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、分壓力測量和殘余氣體分析、真空計校準、真空檢漏的基本原理、各種檢漏方法、氦質譜檢漏儀及其他檢漏儀、標準漏孔、真空測量儀器電路、真空設備與系統的自動控制等。 本書可作為高等學校真空技術及設備、材料科學與工程、物理學等相關專業本科生和研究生的教材，還可供從事真空獲得、真空測量和真空應用的工程技術人員參考。

0 緒論
　0.1 真空測量
　0.2 真空計校準
　0.3 真空檢漏
　0.4 真空測量儀器電路及其發展
　0.5 真空設備控制技術
1 真空測量概述
　1.1 真空度的表征、單位和真空區域劃分
　1.2 真空計分類
　1.3 真空計測量范圍
　1.4 真空測量的特點和真空計選擇原則
2 液位式真空計
　2.1 U型管真空計
　2.2 壓縮式真空計
3 彈性變形真空計和粘滯性真空計
　3.1 彈性元件真空表
　3.2 電容式薄膜真空計
　3.3 振膜真空計
　3.4 磁懸浮轉子真空計
4 熱傳導真空計
　4.1 熱傳導真空計的工作原理
　4.2 熱傳導真空計的測量范圍
　4.3 電阻真空計
　4.4 熱偶真空計
　4.5 已知混合氣體成分真空度的測量
　4.6 熱傳導真空計的優缺點
5 電離真空計
　5.1 熱陰極電離真空計的工作原理
　5.2 普通型熱陰極電離真空計
　5.3 熱陰極電離真空計的測量電路
　5.4 高壓力熱陰極電離真空計
　5.5 超高真空熱陰極電離真空計
　5.6 冷陰極電離真空計
　5.7 放射性電離真空計
6 分壓力測量和殘余氣體分析
　6.1 概述
　6.2 四極質譜計
　6.3 其他質譜計
　6.4 識譜技術
7 真空計校準
　7.1 概述
　7.2 靜態膨脹法
　7.3 動態流導法
　7.4 標準壓縮式真空計
　7.5 副標準真空計
8 真空測量技術
　8.1 氣體種類對真空測量的影響
　8.2 測量系統對被測系統的影響
　8.3 真空規管安裝對測量的影響
　8.4 特殊條件下的真空測量
9 真空檢漏概述
　9.1 漏氣判斷和漏孔表示法
　9.2 最大允許漏率的估算
　9.3 檢漏方法分類
　9.4 對檢漏方法的要求與選擇
10 各種檢漏方法
　10.1 靜態升壓法
　10.2 氣泡檢漏法
　10.3 氨氣檢漏法
　10.4 真空計檢漏法
　10.5 離子泵檢漏法
　10.6 氫一鈀檢漏法
　10.7 熒光檢漏法
　10.8 放射性同位素檢漏法
　10.9 慢性漏氣的加速檢測法
11 真空檢漏儀器
　11.1 高頻火花檢漏儀
　11.2 鹵素檢漏儀
　11.3 氣敏半導體檢漏儀
　11.4 氦質譜檢漏儀
　11.5 漏率測量的誤差
　11.6 真空檢漏工作的注意事項
12 標準漏孔
　12.1 標準漏孔及其常用的結構形式
　12.2 標準漏孔的校準
　12.3 標準漏孔使用中應注意的問題
13 真空測量儀器電路
　13.1 WZK—1A復合真空計
　13.2 DC-3型超高真空計
　13.3 ZDZ-2D數字電阻真空計
　13.4 數字化熱偶真空計
　13.5 ZDR-10型微機化電離真空計
　13.6 DNB束功率測量系統設計
14 真空設備與系統的自動控制
　14.1 真空系統電氣控制概述
　14.2 真空獲得設備控制電路
　14.3 真空鍍膜機繼電器控制電路
　14.4 真空熱處理爐真空測量與控制電路
　14.5 真空冷凍干燥機電加熱系統控制
　14.6 真空釬焊爐溫度測控電路
　14.7 鍍膜生產線程序控制系統
　14.8 真空壓力浸漆設備PLC控制系統
　14.9 同步輻射光源真空控制系統
　14.10 真空冶金設備抽氣裝置專家系統
參考文獻