多晶硅和石英玻璃的聯合制備法（簡體書）

本書以傳統的多晶硅和石英玻璃的生產方法為基礎，介紹了多晶硅和石英玻璃聯合制備法的工藝過程、主要設備、操作要點及影響產品質量的因素，提出了降低多晶硅生產成本的幾個途徑，并總結了相關安全生產的知識。內容緊密結合生產操作實際，闡述由淺入深，通俗易懂，知識豐富，實用性強。 本書可供從事多晶硅和石英玻璃生產的技術人員和管理人員閱讀，也可供有關院校材料專業和冶金專業師生參考。

1 概述
　1.1 傳統生產方法簡介
1.1.1 多晶硅的傳統生產方法簡介
1.1.2 石英玻璃的傳統生產方法簡介
　1.2 多晶硅和石英玻璃的聯合制備法簡介
　1.3 多晶硅和石英玻璃聯合制備法的優點
1.3.1 節約能源
1.3.2 環境保護
1.3.3 設備費用少
1.3.4 基建投資少
1.3.5 與氯堿工業聯合對平衡問題和污染問題的解決
1.3.6 電子工業材料——多晶硅瓶頸問題的解決
2 主要產品
　2.1 多晶硅
2.1.1 多晶硅的基本概念
2.1.2 多晶硅的主要用途
　2.2 石英玻璃
2.2.1 石英玻璃的基本概念
2.2.2 石英玻璃的品種
2.2.3 石英玻璃的主要用途
2.2.4 石英玻璃的析晶問題
3 純度
　3.1 純度的概念
3.1.1 純度概念的起源
3.1.2 純度概念的發展
　3.2 純度的表示方法
3.2.1 用百分比含量表示
3.2.2 用硼含量表示
3.2.3 用電阻率推算
3.2.4 用其他方法推算
　3.3 對主要產品及主要原料的純度要求
3.3.1 四氯化硅和三氯氫硅的純度要求
3.3.2 多晶硅的純度要求
3.3.3 石英玻璃的純度要求
4 基本原料
　4.1 硅
4.1.1 硅的基本特性和用途
4.1.2 工業硅的生產方法
4.1.3 工業硅的質量標準
　4.2 氫氣
4.2.1 氫氣的特性
4.2.2 氫氣的用途
4.2.3 氫氣的制備方法
　4.3 氧氣
4.3.1 氧氣的特性
4.3.2 氧氣的用途
4.3.3 氧氣的制備方法
　4.4 氯氣
4.4.1 氯氣的特性
4.4.2 氯氣的用途
4.4.3 氯氣的制備方法
　4.5 氯化氫
4.5.1 氯化氫的特性
4.5.2 氯化氫的用途
4.5.3 氯化氫的制備方法
　4.6 氮氣
4.6.1 氮氣的特性
4.6.2 氮氣的用途
4.6.3 氮氣的制備方法
5 中間產品
6 化學提純法簡介
7 多晶硅的傳統制備方法
8 石英玻璃的傳統制備方法
9 多晶硅和石英玻璃的聯合制備法
10 主要設備
11 工藝操作要點及影響產品質量的因素
12 安全生產
13 降低多晶硅生產成本的幾個途徑
附錄
參考文獻