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為做好“納米製造的基礎研究”重大研究計劃的立項論證工作，2007年11月7～9日，國家自然科學基金委員會政策局、工程與材料科學部、信息科學部、數理科學部在杭州聯合組織召開了主題為“納米製造前沿”第24期“雙清論壇”研討會，本書是該研討會的主要成果。從事微／納米技術研究的我國專家學者，分別從納米製造的共性技術、納米製造中的建模、納米製造技術綜述、納米製造中的檢測與控制等方面，較為系統地闡述了微／納米製造領域所面臨的機遇與挑戰、當前的研究現狀與發展趨勢、共性技術的基本原理、關鍵科學問題及未來的研究方向。
本書可供從事微／納米製造及其相應領域的科技工作者、科研管理人員，以及高等院校有關專業師生閱讀、參考。
本書可供從事微／納米製造及其相應領域的科技工作者、科研管理人員，以及高等院校有關專業師生閱讀、參考。
目次
序
前言
納米材料——向自然學習
納米製造，器件先行
從美國國家點火工程看納米製造
納米製造中力學行為的尺度效應、表面效應與跨尺度模擬
納機電系統(NEMS)建模技術
短脈沖激光微／納加工方法和機理
超光滑表面製造
納米壓印技術新進展和挑戰
基於電化學原理的納米製造
Top-down（自上而下）的納米加工技術
納機電系統製造技術
微納自組裝
納米製造與微流控器件融合技術
寬禁帶納傳感結構製造科學問題
納米製造與射頻集成系統——挑戰與機遇
液相納米製造技術
面向納米製造的測量與組裝技術
納米操作的研究綜述、科學問題與關鍵技術
納米製造裝備的精密定位及控制
浸沒式光刻機的流體傳送與控制技術
附錄 名詞術語中英文對照
前言
納米材料——向自然學習
納米製造，器件先行
從美國國家點火工程看納米製造
納米製造中力學行為的尺度效應、表面效應與跨尺度模擬
納機電系統(NEMS)建模技術
短脈沖激光微／納加工方法和機理
超光滑表面製造
納米壓印技術新進展和挑戰
基於電化學原理的納米製造
Top-down（自上而下）的納米加工技術
納機電系統製造技術
微納自組裝
納米製造與微流控器件融合技術
寬禁帶納傳感結構製造科學問題
納米製造與射頻集成系統——挑戰與機遇
液相納米製造技術
面向納米製造的測量與組裝技術
納米操作的研究綜述、科學問題與關鍵技術
納米製造裝備的精密定位及控制
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