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《透明導電氧化物薄膜》主要論述透明導電薄膜的性能與技術，比較系統全面地介紹了透明導電氧化物薄膜的結構、性能、制備、表征與應用，反映了當前透明導電氧化物薄膜性能與技術研究、發展的前沿信息。
目次
第一章 透明導電薄膜概述
1.1 概述
1.2 透明導電薄膜的分類
1.3 透明導電薄膜的基本特性
1.3.1 透明導電金屬薄膜
1.3.2 透明導電氧化物薄膜
1.4 透明導電氧化物薄膜的研究現狀
1.4.1 SnO2薄膜及其摻雜體系
1.4.2 Cd2SnO4薄膜體系
1.4.3 In2O3薄膜及其摻雜體系
1.4.4 ZnO薄膜及其摻雜體系
1.5 透明導電氧化物薄膜的應用
1.5.1 ITO薄膜的主要應用
1.5.2 ZnO薄膜的主要應用
1.5.3 透明導電薄膜的其他應用
參考文獻
第二章 透明導電氧化物薄膜的制備技術
2.1 概述
2.2 真空蒸發鍍膜
2.2.1 真空蒸發鍍膜原理
2.2.2 真空蒸發的方式和設備
2.3 濺射鍍膜
2.3.1 概述
2.3.2 濺射鍍膜原理
2.3.3 濺射鍍膜的特點
2.3.4 濺射鍍膜裝置
2.3.5 磁控濺射沉積ITO薄膜
2.3.6 ITO鍍膜生產實例
2.3.7 磁控濺射沉積ZnO薄膜
2.4 化學氣相沉積
2.4.1 化學氣相沉積的原理
2.4.2 化學氣相沉積的分類與特點
2.4.3 化學氣相沉積ITO薄膜工藝
2.4.4 化學氣相沉積的ZnO薄膜制備工藝
2.5 其他化學沉積方法
2.5.1 溶膠-凝膠法制備透明導電薄膜
2.5.2 噴涂熱分解法制備透明導電薄膜
2.6 透明導電薄膜制備技術的比較
2.6.1 不同技術沉積的ITO薄膜的性能比較
2.6.2 不同技術沉積的ZnO薄膜的性能比較
2.6.3 其他透明導電薄膜的制備技術
參考文獻
第三章 薄膜的分析和性能檢測技術
3.1 概述
3.2 薄膜形貌分析
3.2.1 掃描電子顯微鏡
3.2.2 透射電子顯微鏡
3.2.3 掃描探針顯微鏡
3.3薄 膜相結構分析
3.3.1 X射線衍射
3.3.2 電子衍射
3.4 薄膜成分分析
3.4.1 概述
3.4.2 電子探針X射線顯微分析
3.4.3 電子能譜分析
3.4.4 二次離子質譜(SIMS)
3.5 表面電子態分析
3.6 表面原子態分析
3.7 薄膜厚度測量
3.7.1 薄膜厚度的概念
3.7.2 薄膜厚度的測量方法
3.8 薄膜電學性能測量
3.8.1 四點探針法
3.8.2 霍爾效應
3.9 薄膜光學性能測量
3.9.1 透射率和反射率測量
3.9.2 橢圓偏振測量技術
參考文獻
第四章 透明導電薄膜的結構特性
4.1 概述
4.2 ITO薄膜的結構特性
4.2.1 ITO薄膜的相結構
4.2.2 ITO薄膜的成分分布及化學態
4.2.3 ITO薄膜的組織形貌
4.3 ZnO：Al薄膜的結構特性
4.3.1 ZnO薄膜的相結構
4.3.2 ZnO薄膜的晶體生長模式
4.3.3 ZnO薄膜的成分分布及化學態
4.3.4 ZnO薄膜的能帶結構及表面功函數
參考文獻
第五章 透明導電薄膜的電學性能
5.1 概述
5.2 半導體薄膜中的電荷輸運現象
5.2.1 單晶半導體材料中的電傳導
5.2.2 多晶材料中的電傳導
5.2.3 非晶材料中的傳導機制
5.3 未摻雜透明導電薄膜的電學性能
5.3.1 沉積工藝參數的影響
5.3.2 薄膜厚度的影響
5.3.3 沉積后退火處理的影響
5.4 摻雜透明導電膜的電學性能
5.4.1 摻雜量的影響
5.4.2 沉積工藝參數的影響
5.4.3 沉積后退火處理的影響
5.5 透明導電薄膜導電機制的實驗研究
5.6 透明導電氧化物薄膜電學性能的幾個值得關注的問題
參考文獻
第六章 透明導電薄膜的光學性能
6.1 概述
6.2 光學常數
6.2.1 折射系數和消光系數
6.2.2 禁帶寬度
6.3 光學和電學性質的關聯性
6.4 半導體氧化物薄膜的光學性質
6.4.1 禁帶寬度
6.4.2 折射系數和消光系數
6.4.3 透射、反射和吸收
6.5 提高透明導電氧化物薄膜光學性能值得關注的技術
參考文獻
第七章 透明導電薄膜的應用研究
7.1 概述
7.2 透明導電薄膜的性能指數
7.3 波長(頻率)選擇特性應用
7.3.1 波長(頻率)選擇特性
7.3.2 摻雜對光學性能的影響
7.4 在薄膜太陽能電池上的應用
7.4.1 薄膜太陽能電池結構
7.4.2 透明導電氧化物薄膜太陽能電池
7.4.3 透明導電薄膜用于太陽能電池的面電極
7.5 在顯示器件上的應用
7.5.1 透明導電薄膜在發光二極管上的應用
7.5.2 ITO透明導電薄膜在長壽命電致發光器件上的應用
7.5.3 SnO2、ITO透明薄膜電極在PbO光電導靶上的應用
7.5.4 SnO2、ITO透明導電薄膜電極在液晶顯示器上的應用
7.6 在氣敏元件上的應用
7.6.1 甲烷和丙烷氣敏元件
7.6.2 一氧化碳探測器
7.6.3 氫氣敏元件
7.6.4 乙醇探測器
7.6.5 氮氧化物氣敏元件
7.6.6 其他氣體的氣敏元件
7.7 ZnO薄膜在壓電器件中的應用
7.7.1 ZnO壓電薄膜的制備
7.7.2 壓電性能
7.7.3 壓電薄膜的應用
7.8 其他應用
7.8.1 In2O3、ITO透明導電薄膜在航空航天、汽車、高速列車上的應用
7.8.2 透明導電薄膜在電子器件上的應用
7.8.3 在防護涂層方面的應用
7.9 透明導電薄膜今后應著力研究解決的重要科學技術
參考文獻
1.1 概述
1.2 透明導電薄膜的分類
1.3 透明導電薄膜的基本特性
1.3.1 透明導電金屬薄膜
1.3.2 透明導電氧化物薄膜
1.4 透明導電氧化物薄膜的研究現狀
1.4.1 SnO2薄膜及其摻雜體系
1.4.2 Cd2SnO4薄膜體系
1.4.3 In2O3薄膜及其摻雜體系
1.4.4 ZnO薄膜及其摻雜體系
1.5 透明導電氧化物薄膜的應用
1.5.1 ITO薄膜的主要應用
1.5.2 ZnO薄膜的主要應用
1.5.3 透明導電薄膜的其他應用
參考文獻
第二章 透明導電氧化物薄膜的制備技術
2.1 概述
2.2 真空蒸發鍍膜
2.2.1 真空蒸發鍍膜原理
2.2.2 真空蒸發的方式和設備
2.3 濺射鍍膜
2.3.1 概述
2.3.2 濺射鍍膜原理
2.3.3 濺射鍍膜的特點
2.3.4 濺射鍍膜裝置
2.3.5 磁控濺射沉積ITO薄膜
2.3.6 ITO鍍膜生產實例
2.3.7 磁控濺射沉積ZnO薄膜
2.4 化學氣相沉積
2.4.1 化學氣相沉積的原理
2.4.2 化學氣相沉積的分類與特點
2.4.3 化學氣相沉積ITO薄膜工藝
2.4.4 化學氣相沉積的ZnO薄膜制備工藝
2.5 其他化學沉積方法
2.5.1 溶膠-凝膠法制備透明導電薄膜
2.5.2 噴涂熱分解法制備透明導電薄膜
2.6 透明導電薄膜制備技術的比較
2.6.1 不同技術沉積的ITO薄膜的性能比較
2.6.2 不同技術沉積的ZnO薄膜的性能比較
2.6.3 其他透明導電薄膜的制備技術
參考文獻
第三章 薄膜的分析和性能檢測技術
3.1 概述
3.2 薄膜形貌分析
3.2.1 掃描電子顯微鏡
3.2.2 透射電子顯微鏡
3.2.3 掃描探針顯微鏡
3.3薄 膜相結構分析
3.3.1 X射線衍射
3.3.2 電子衍射
3.4 薄膜成分分析
3.4.1 概述
3.4.2 電子探針X射線顯微分析
3.4.3 電子能譜分析
3.4.4 二次離子質譜(SIMS)
3.5 表面電子態分析
3.6 表面原子態分析
3.7 薄膜厚度測量
3.7.1 薄膜厚度的概念
3.7.2 薄膜厚度的測量方法
3.8 薄膜電學性能測量
3.8.1 四點探針法
3.8.2 霍爾效應
3.9 薄膜光學性能測量
3.9.1 透射率和反射率測量
3.9.2 橢圓偏振測量技術
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第四章 透明導電薄膜的結構特性
4.1 概述
4.2 ITO薄膜的結構特性
4.2.1 ITO薄膜的相結構
4.2.2 ITO薄膜的成分分布及化學態
4.2.3 ITO薄膜的組織形貌
4.3 ZnO：Al薄膜的結構特性
4.3.1 ZnO薄膜的相結構
4.3.2 ZnO薄膜的晶體生長模式
4.3.3 ZnO薄膜的成分分布及化學態
4.3.4 ZnO薄膜的能帶結構及表面功函數
參考文獻
第五章 透明導電薄膜的電學性能
5.1 概述
5.2 半導體薄膜中的電荷輸運現象
5.2.1 單晶半導體材料中的電傳導
5.2.2 多晶材料中的電傳導
5.2.3 非晶材料中的傳導機制
5.3 未摻雜透明導電薄膜的電學性能
5.3.1 沉積工藝參數的影響
5.3.2 薄膜厚度的影響
5.3.3 沉積后退火處理的影響
5.4 摻雜透明導電膜的電學性能
5.4.1 摻雜量的影響
5.4.2 沉積工藝參數的影響
5.4.3 沉積后退火處理的影響
5.5 透明導電薄膜導電機制的實驗研究
5.6 透明導電氧化物薄膜電學性能的幾個值得關注的問題
參考文獻
第六章 透明導電薄膜的光學性能
6.1 概述
6.2 光學常數
6.2.1 折射系數和消光系數
6.2.2 禁帶寬度
6.3 光學和電學性質的關聯性
6.4 半導體氧化物薄膜的光學性質
6.4.1 禁帶寬度
6.4.2 折射系數和消光系數
6.4.3 透射、反射和吸收
6.5 提高透明導電氧化物薄膜光學性能值得關注的技術
參考文獻
第七章 透明導電薄膜的應用研究
7.1 概述
7.2 透明導電薄膜的性能指數
7.3 波長(頻率)選擇特性應用
7.3.1 波長(頻率)選擇特性
7.3.2 摻雜對光學性能的影響
7.4 在薄膜太陽能電池上的應用
7.4.1 薄膜太陽能電池結構
7.4.2 透明導電氧化物薄膜太陽能電池
7.4.3 透明導電薄膜用于太陽能電池的面電極
7.5 在顯示器件上的應用
7.5.1 透明導電薄膜在發光二極管上的應用
7.5.2 ITO透明導電薄膜在長壽命電致發光器件上的應用
7.5.3 SnO2、ITO透明薄膜電極在PbO光電導靶上的應用
7.5.4 SnO2、ITO透明導電薄膜電極在液晶顯示器上的應用
7.6 在氣敏元件上的應用
7.6.1 甲烷和丙烷氣敏元件
7.6.2 一氧化碳探測器
7.6.3 氫氣敏元件
7.6.4 乙醇探測器
7.6.5 氮氧化物氣敏元件
7.6.6 其他氣體的氣敏元件
7.7 ZnO薄膜在壓電器件中的應用
7.7.1 ZnO壓電薄膜的制備
7.7.2 壓電性能
7.7.3 壓電薄膜的應用
7.8 其他應用
7.8.1 In2O3、ITO透明導電薄膜在航空航天、汽車、高速列車上的應用
7.8.2 透明導電薄膜在電子器件上的應用
7.8.3 在防護涂層方面的應用
7.9 透明導電薄膜今后應著力研究解決的重要科學技術
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