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本書較全面地敘述了涂層與薄膜材料沉積制備的現代表面技術科這與應用,著重以與代表面技術密切相關的等離子體、電子束、激光束、離子束、低壓等離子、超音速火焰、微波等先進科學技術為基礎,結合涂層材料、薄膜材料的特點,簡明地論述了表面技術與工程的涵義、工程分類、工程應用,重點講述了涉及表面科學中與表面(界面)相關的基本理論(包括固體材料表面、表面單日 體學、表面與界面特徵、表面與原子熱振動、表面擴散、表面電子學、表面電遷移現象和腐蝕與磨擦等涉及表面的相關理論),涂層技術中的先進噴涂技術(包括低壓等離子噴涂、超音速火焰噴涂、冷噴等),等離子轟擊與三束(電子、激光、離子)材料表面改進,先進的薄膜氣相沉積技術與表面復合技術;扼要介紹了表面微細加工技術和表面檢測分析研究方法等內容,并把應用試驗和工程應用貫穿于各章之中。編者力求全面又突出重點,從以材料表面、界面及基體為整體的系統研究出發,認真探索材料“表現與整體”的優化設計及製造,從而為制備綜合性能良好且具備優異表面特徵的新材料提供科學方法和理論指導。
本書可供從事表面技術與工程、涂層材料、薄膜材料研究與開拓應用的科研人員及科技工作者參考,也可作為高等院校教材專業和相近專業的高年級學生、研究生材料學課程的教學參考書。
本書可供從事表面技術與工程、涂層材料、薄膜材料研究與開拓應用的科研人員及科技工作者參考,也可作為高等院校教材專業和相近專業的高年級學生、研究生材料學課程的教學參考書。
目次
1. 表面技術與工程概述
1.1 表面技術與工程的涵義
1.2 表面技術與工程分類
1.3 表面技術與工程應用
1.4 表面技術與工程展望
2. 表面技術與工程的基本概念和基礎理論
2.1 固體材料及其表面
2.2 表面晶體學
2.3 表面、界面特徵
2.4 表面原子的熱振動與表面擴散
2.5 表面電子學
2.6 附著
2.7 腐蝕
2.8 摩擦與磨損
3. 熱噴涂技術
3.1 概論
3.2 熱噴涂的分類
3.3 熱噴涂的方法及裝置
3.4 噴涂涂層材料
3.5 噴涂涂層的制備
3.6 熱噴涂涂層的檢測
3.7 熱噴涂技術的工業應用
3.8 噴涂發展的趨勢
4. 材料表面改性技術
4.1 概述
4.2 等離子表面處理技術基礎
4.3 等離子滲氮表面處理技術
4.4 等離子滲氮的工程應用
4.5 等離子治碳氮共滲表面處理技術
4.6 等離子滲硫、等離子硫氮共滲和硫碳氮共滲
4.7 電子束表面改性處理技術
4.8 激光束表面改性處理技術
4.9 離子注入與材料表面改性技術
5. 化學氣相沉積技術
5.1 概述
5.2 等離子體輔助化學氣相沉沉積技術中等離子的性質和特點
5.3 射頻等離子體化學氣相沉積技術
5.4 直流等離子體輔助化學氣相沉積技術
5.5 脈沖直流等離子體化學氣相沉積技術
5.6 激光化學氣相沉積技術
5.7 金屬有化學氣相沉積技術
5.8 微波等離子體化學氣相沉積技術
5.9 分子束外延的技術
5.10 化學氣相沉積金剛石薄膜
6. 物理氣相沉積技術
7. 表面復合離了處理技術
8. 表面微細加工技術
9. 表面分析和表面性能檢測
1.1 表面技術與工程的涵義
1.2 表面技術與工程分類
1.3 表面技術與工程應用
1.4 表面技術與工程展望
2. 表面技術與工程的基本概念和基礎理論
2.1 固體材料及其表面
2.2 表面晶體學
2.3 表面、界面特徵
2.4 表面原子的熱振動與表面擴散
2.5 表面電子學
2.6 附著
2.7 腐蝕
2.8 摩擦與磨損
3. 熱噴涂技術
3.1 概論
3.2 熱噴涂的分類
3.3 熱噴涂的方法及裝置
3.4 噴涂涂層材料
3.5 噴涂涂層的制備
3.6 熱噴涂涂層的檢測
3.7 熱噴涂技術的工業應用
3.8 噴涂發展的趨勢
4. 材料表面改性技術
4.1 概述
4.2 等離子表面處理技術基礎
4.3 等離子滲氮表面處理技術
4.4 等離子滲氮的工程應用
4.5 等離子治碳氮共滲表面處理技術
4.6 等離子滲硫、等離子硫氮共滲和硫碳氮共滲
4.7 電子束表面改性處理技術
4.8 激光束表面改性處理技術
4.9 離子注入與材料表面改性技術
5. 化學氣相沉積技術
5.1 概述
5.2 等離子體輔助化學氣相沉沉積技術中等離子的性質和特點
5.3 射頻等離子體化學氣相沉積技術
5.4 直流等離子體輔助化學氣相沉積技術
5.5 脈沖直流等離子體化學氣相沉積技術
5.6 激光化學氣相沉積技術
5.7 金屬有化學氣相沉積技術
5.8 微波等離子體化學氣相沉積技術
5.9 分子束外延的技術
5.10 化學氣相沉積金剛石薄膜
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