微傳感器設計、製造與應用（簡體書）

本書主要內容是，對基於壓阻效應、電容效應、機械諧振效應、光電效應、電子隧道效應和原子力效應的多種微傳感器和智能微傳感器的物理機理、材料、設計、製造、應用和發展進行了深入系統的討論，包括對壓力、加速度、角速度、納米尺度和圖像生成等的測量與性能分析。全書內容豐富，重理論也重應用，各章后配有思考題。
本書適合用作高等學校相關專業微機械傳感器課程的教材，也可供從事微機械傳感器研究的工程技術人員參考。

第1章 微傳感器概論
1.1 微傳感器優特點
1.2 微傳感器弱信號檢測技術
1.3 微傳感器分類
1.4 現狀與未來
1.5 本書討論內容
思考題
第2章 微傳感器與材料
2.1 概述
2.2 硅及其化合物材料
2.3 化合物半導體材料
2.4 光導纖維
2.5 熔凝石英
2.6 金剛石材料
2.7 壓電材料
2.8 磁致伸縮材料
2.9 形狀記憶合金
2.10 膨脹合金
2.11 幾種通用金屬材料
2.12 超導體
2.13 納米相材料
2.14 結論
思考題
第3章 微機械製造技術
3.1 概述
3.2 硅微機械加工技術
3.3 LIGA技術和SLIGA技術
3.4 固相鍵合技術
3.5 特種加工技術
思考題
第4章 硅壓阻式微傳感器
4.1 概述
4.2 硅壓阻式壓力微傳感器
4.3 硅壓阻式加速度微傳感器
思考題
第5章 硅電容式微傳感器
5.1 概述
5.2 硅電容式集成壓力傳感器
5.3 微弱電容信號的檢測電路
5.4 接觸式硅電容壓力微傳感器
5.5 硅電容式加速度微傳感器
思考題
第6章 硅諧振式微傳感器
6.1 概述
6.2 諧振式微傳感器的物理機理
6.3 激勵和檢測機制
6.4 硅諧振式微傳感器
思考題
第7章 納米微傳感器
7.1 概述
7.2 電子隧道傳感器工作原理
7.3 隧道加速度傳感器
7.4 原子力納米結構傳感器檢測原理
7.5 碳納米管質量傳感器
思考題
第8章 光電式微傳感器
8.1 概述
8.2 基本原理
8.3 光電傳感器性能參數
8.4 CCD成像傳感器
8.5 紅外傳感器
8.6 光纖傳感器
思考題
第9章 智能化微傳感器
9.1 概述
9.2 現場總線式智能傳感器
9.3 應用舉例
9.4 網絡式智能微型無線傳感器
思考題
參考文獻